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精密转台角分度误差补偿
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-07-07
    • 精密转台角分度误差补偿

    • Compensation of angular indexing error for precision turntable

    • 王福全 ,王珏 ,谢志江 ,刘丰林
    • 光学 精密工程 2017年25卷第8期 页码:2165-2172
    • DOI: 10.3788/OPE.20172508.2165     

      中图分类号:
    • 录用:2017-4-13 ,

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