领域：集成电路制造技术与装备、微纳器件的制造装备与工艺

李超波，研究员，博士生导师，供职于中国科学院微电子研究所，国家重点研发计划“高性能制造与重大装备”重点专项专家。其主要研究方向包括集成电路制造技术与装备、微纳器件的制造装备与工艺等，研制出超低能等离子体浸没离子注入机，实现晶圆级平面器件和三维器件的保形超浅注入；并将自主研发的超低能等离子体浸没离子注入技术应用于二维Bi2Se3等材料及器件研究，实现二维材料掺杂和器件性能的精准调控。