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Published Online:15 October 1976,
Published:15 October 1976
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关志远. 表面测量干涉仪的设计和应用[J]. 光学精密工程, 1976,(5): 41-47
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1976,(5): 41-47
关志远. 表面测量干涉仪的设计和应用[J]. 光学精密工程, 1976,(5): 41-47 DOI:
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1976,(5): 41-47 DOI:
在光学生产中
表面评定的最普通方法是用光学检验板.检验板的主要缺点是由于接触可能造成表面损伤以及对每个不同的表面需要用不同的检验板.本文介绍的表面测量干涉仪可以单独测量曲率半径及表面的面形.因为所有曲率误差可以化为零
评定表面面形的过程可以简化.本文也介绍了干涉仪的其它有效的应用.
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