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Published Online:15 October 1977,
Published:15 October 1977
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吴学蔺. 特氟隆抛光盘:它的制造和使用[J]. 光学精密工程, 1977,(5): 40-45,46
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1977,(5): 40-45,46
吴学蔺. 特氟隆抛光盘:它的制造和使用[J]. 光学精密工程, 1977,(5): 40-45,46 DOI:
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1977,(5): 40-45,46 DOI:
引言为了满足对更平的光学表面愈来愈高的要求(特别是为法布里-珀罗干涉仪用的平板)
澳大利亚 CSIRO 国家计量研究室的光学车间发展了可以用抛光机抛光法生产平达λ/200的表面新技术。
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