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Published Online:15 June 1979,
Published:15 June 1979
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施评治, 卢寿枬. 各种氧化硅相在薄膜中的性质[J]. 光学精密工程, 1979,(3): 53-58
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1979,(3): 53-58
施评治, 卢寿枬. 各种氧化硅相在薄膜中的性质[J]. 光学精密工程, 1979,(3): 53-58 DOI:
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1979,(3): 53-58 DOI:
本文综述了各种氧化硅棚在薄膜中的性质
同时较充分地讨论SiO和Si
2
O
3
膜的性质与化学和结构变化的关系。
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