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Published Online:15 April 1984,
Published:15 April 1984
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张汉广, 邹文信, 邓玉新, 郭德申. 适用于空气静压轴承的空气净化系统的研制[J]. 光学精密工程, 1984,(2): 74-81
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1984,(2): 74-81
张汉广, 邹文信, 邓玉新, 郭德申. 适用于空气静压轴承的空气净化系统的研制[J]. 光学精密工程, 1984,(2): 74-81 DOI:
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1984,(2): 74-81 DOI:
本文介绍了空气轴承所需压缩空气的净化方法及净化系统流程图.提出了应用于空气静压轴承净化空气的设计指标.文中着重介绍了提高净化系统过滤效果的技术途径、过滤介质的选择和实现各项设计指标的措施.介绍了净化系统主要性能指标的测试方法及测试结果.
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