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Published Online:15 December 1984,
Published:15 December 1984
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刘仲元. 高真空空间模拟检测装置和部分元件的残气分析[J]. 光学精密工程, 1984,(6): 23-31
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1984,(6): 23-31
刘仲元. 高真空空间模拟检测装置和部分元件的残气分析[J]. 光学精密工程, 1984,(6): 23-31 DOI:
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1984,(6): 23-31 DOI:
用国产
SJX
—1小型四极质谱分析计探测了高真空空间模拟检测装置在
P
=10
-7
torr级的残气质谱.对所记录的质谱图做了定性识别
肯定了系统中有碳氢化物和矿物油的存在
分析了各种残气的来源.对部分元件进行了残气质谱分析
以相对比较法对谱图做了半定量性的对比分析
提出了对所测的元件可否用于本真空系统中的建议.
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