邹自强. 0.2秒圆刻机的基本原理[J]. 光学精密工程, 1983,(2): 1-11

. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1983,(2): 1-11

邹自强. 0.2秒圆刻机的基本原理[J]. 光学精密工程, 1983,(2): 1-11 DOI：

. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1983,(2): 1-11 DOI：