高宏, 李庆祥, 严普强. 亚微米级微位移工作台及其微计算机数字闭环控制系统[J]. 光学精密工程, 1988,(6): 53-59

Gao Hong, Li Qingxiang, Yan Puqiang. Computer-Controlled Micropositioning Stage with Submicrometre Accuracy[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1988,(6): 53-59

高宏, 李庆祥, 严普强. 亚微米级微位移工作台及其微计算机数字闭环控制系统[J]. 光学精密工程, 1988,(6): 53-59 DOI：

Gao Hong, Li Qingxiang, Yan Puqiang. Computer-Controlled Micropositioning Stage with Submicrometre Accuracy[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1988,(6): 53-59 DOI：