韩荣久, 孙恒德, 徐德全, 张云, 王立江. 单晶硅片的低温抛光技术[J]. 光学精密工程, 1998,(5): 104-109

HAN Rong-Jiu, SUN Heng-De, XU De-Quan, ZHANG Yun, WANG Li-Jiang. Cryogenic Polishing Technology of Monocrystalline Silicon Wafer[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1998,(5): 104-109

韩荣久, 孙恒德, 徐德全, 张云, 王立江. 单晶硅片的低温抛光技术[J]. 光学精密工程, 1998,(5): 104-109 DOI：

HAN Rong-Jiu, SUN Heng-De, XU De-Quan, ZHANG Yun, WANG Li-Jiang. Cryogenic Polishing Technology of Monocrystalline Silicon Wafer[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1998,(5): 104-109 DOI：