YAN Z M ， HAO Y C ， L W M . A mode-localized Lorentz force magnetometer with 1 . 6μt /√Hz Resolution ［C］. 20th International Conference on Solid-state Sensors ， Berlin ， Germany： Actuators and microsystems & Euro sensors ， 2019 ： 1815 - 1818 .

CLELAND A N ， ROUKES M L . A nanometre-scale mechanical electrometer ［J］. Nature ， 1998 ， 392 （ 6672 ）： 160 - 162 .

CHRISTENSEN D L ， AHN C H ， HONG V A ， et al .. Hermetically encapsulated differential resonant accelerometer ［C］. 2013 Transducers & Eurosensors XXVII ： The 17th International Conference on Solid-State Sensors ， Actuators and Microsystems （TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII）. Barcelona： IEEE ， 2013 ： 606 - 609 .

赵健 ， 施芹 ， 夏国明 ， 等 . 小型化硅微谐振式加速度计的实现与性能测试 ［J］. 光学 精密工程 ， 2016 ， 24 （ 8 ）： 1927 - 1933 .

ZHAO J ， SHI Q ， XIA G M ， et al . . Implementation and measurement of a miniaturized silicon resonant accelerometer ［J］. Optics and Precision Engineering ， 2016 ， 24 （ 8 ）： 1927 - 1933 . （in Chinese）

康昊 ， 常洪龙 . 基于模态局部化效应的微机械加速度计研究进展 ［J］. 导航与控制 ， 2018 ， 17 （ 6 ）： 16 - 22，93 .

KANG H ， CHANG H L . Research progress of A novel MEMS accelerometer based on mode localization ［J］. Navigation and Control ， 2018 ， 17 （ 6 ）： 16 - 22，93 . （in Chinese）

张和民 . 基于模态局部化的弱耦合谐振式加速度传感器敏感机理研究 ［D］. 西安 ： 西北工业大学 ， 2017 .

ZHANG H M . Research on the acceleration sensing mechanism based on mode localization of the weakly coupled resonators ［D］. Xi'an ： Northwestern Polytechnical University ， 2017 . （in Chinese）

KANG H ， YANG J ， CHANG H L . A closed-loop accelerometer based on three degree-of-freedom weakly coupled resonator with self-elimination of feedthrough signal ［J］. IEEE Sensors Journal ， 2018 ， 18 （ 10 ）： 3960 - 3967 .

KANG H ， YANG J ， CHANG H L . A mode-localized accelerometer based on four degree-of-freedom weakly coupled resonators ［C］. 2018 IEEE Micro Electro Mechanical Systems （MEMS）. Belfast ： IEEE ， 2018 ： 960 - 963 .

CHEN F ， LI X X ， KRAFT M . Electromechanical sigma–delta modulators force feedback interfaces for capacitive MEMS inertial sensors： a review ［J］. IEEE Sensors Journal ， 2016 ， 16 （ 17 ）： 6476 - 6495 .

吴志强 ， 杨亮 ， 夏国明 ， 等 . 基于带通Σ-Δ调制器的硅微机械陀螺力反馈闭环检测 ［J］. 光学 精密工程 ， 2015 ， 23 （ 9 ）： 2540 - 2545 .

WU ZH Q ， YANG L ， XIA G M ， et al . . Force feedback close-loop detection of silicon micromachined gyroscope based on bandpass sigma delta modulator ［J］. Optics and Precision Engineering ， 2015 ， 23 （ 9 ）： 2540 - 2545 . （in Chinese）

ZHAO CH ， PANDIT M ， SOBREVIELA G ， et al . . On the optimization of resonant MEMS sensors utilizing vibration mode localization ［J］. Appl. Phys. Lett . 2018 ， 112 （ 19 ）： 194103 .

WANG Y ， ZHAO C ， WANG C ， et al . . A mass sensor based on 3-DOF mode localized coupled resonator under atmospheric pressure ［J］. Sensors and Actuators A： Physical ， 2018 ， 279 ： 254 - 262 .