XU J L ， LIU Y H ， GAO X ， et al . Toward wearable electronics： a lightweight all-solid- state supercapacitor with outstanding transparency， foldability and breathability ［J］. Energy Storage Materials ， 2019 ， 22 ： 402 - 409 . doi: 10.1016/j.ensm.2019.02.013 http://dx.doi.org/10.1016/j.ensm.2019.02.013

LIU H Z ， ZHANG G H ， ZHENG X ， et al . Emerging miniaturized energy storage devices for microsystem applications： from design to integration ［J］. International Journal of Extreme Manufacturing ， 2020 ， 2 （ 4 ）： 042001 . doi: 10.1088/2631-7990/abba12 http://dx.doi.org/10.1088/2631-7990/abba12

QU H . CMOS MEMS fabrication technologies and devices ［J］. Micromachines ， 2016 ， 7 （ 1 ）： 14 . doi: 10.3390/mi7010014 http://dx.doi.org/10.3390/mi7010014

HIROSE S ， USUI T ， CROSSLEY S ， et al . Progress on electrocaloric multilayer ceramic capacitor development ［J］. APL Materials ， 2016 ， 4 （ 6 ）： 064105 . doi: 10.1063/1.4950796 http://dx.doi.org/10.1063/1.4950796

汤勇 ， 刘辉龙 ， 陆龙生 ， 等 . 激光加工平面型微超级电容器的研究进展与发展趋势 ［J］. 机械工程学报 ， 2019 ， 55 （ 4 ）： 189 - 206 . doi: 10.3901/JME.2019.04.189 http://dx.doi.org/10.3901/JME.2019.04.189

TANG Y ， LIU H L ， LU L SH ， et al . Research progress and perspective trend of Laser-machined In-plane Micro-supercapacitors ［J］. Journal of Mechanical Engineering ， 2019 ， 55 （ 4 ）： 189 - 206 . （in Chinese） . doi: 10.3901/JME.2019.04.189 http://dx.doi.org/10.3901/JME.2019.04.189

ZHANG H B ， MARWAT M A ， XIE B ， et al . Polymer matrix nanocomposites with 1D ceramic nanofillers for energy storage capacitor applications ［J］. ACS Applied Materials & Interfaces ， 2020 ， 12 （ 1 ）： 1 - 37 . doi: 10.1021/acsami.9b15005 http://dx.doi.org/10.1021/acsami.9b15005

AMARAL A M R ， CARDOSO A J M . A simple offline technique for evaluating the condition of aluminum-electrolytic-capacitors ［J］. IEEE Transactions on Industrial Electronics ， 2009 ， 56 （ 8 ）： 3230 - 3237 . doi: 10.1109/tie.2009.2022077 http://dx.doi.org/10.1109/tie.2009.2022077

KISHI H ， MIZUNO Y ， CHAZONO H . Base-metal electrode-multilayer ceramic capacitors： past， present and future perspectives ［J］. Japanese Journal of Applied Physics ， 2003 ， 42 （ 1 ）： 1 - 15 . doi: 10.1143/jjap.42.1 http://dx.doi.org/10.1143/jjap.42.1

VALENTINE N ， AZARIAN M H ， PECHT M . Metallized film capacitors used for EMI filtering： a reliability review ［J］. Microelectronics Reliability ， 2019 ， 92 ： 123 - 135 . doi: 10.1016/j.microrel.2018.11.003 http://dx.doi.org/10.1016/j.microrel.2018.11.003

AKAHOSHI T ， MIZUTANI D ， FUKUI K ， et al . Improved structure for package substrates with embedded thin-film capacitor ［J］. In 2019 IEEE 69th Electronic Components and Technology Conference （ECTC） ， 2019 ， 1294 - 1299 . doi: 10.1109/ectc.2019.00200 http://dx.doi.org/10.1109/ectc.2019.00200

XU R ， FENG Y ， WEI X ， et al . Analysis on nonlinearity of antiferroelectric multilayer ceramic capacitor （MLCC） for energy storage ［J］. IEEE Transactions on Dielectrics and Electrical Insulation ， 2019 ， 26 （ 6 ）： 2005 - 2011 . doi: 10.1109/tdei.2019.008301 http://dx.doi.org/10.1109/tdei.2019.008301

JIA W X ， HOU Y D ， ZHENG M P ， et al . Advances in lead-free high-temperature dielectric materials for ceramic capacitor application ［J］. IET Nanodielectrics ， 2018 ， 1 （ 1 ）： 3 - 16 . doi: 10.1049/iet-nde.2017.0003 http://dx.doi.org/10.1049/iet-nde.2017.0003

LIU X ， LI Y ， SUN N ， et al . High energy-storage performance of PLZS antiferroelectric multilayer ceramic capacitors ［J］. Inorganic Chemistry Frontiers ， 2020 ， 7 （ 3 ）： 756 - 764 . doi: 10.1039/c9qi01416k http://dx.doi.org/10.1039/c9qi01416k

HOURDAKIS E ， NASSIOPOULOU A G . Microcapacitors for energy storage： general characteristics and overview of recent progress ［J］. Physica Status Solidi （a） ， 2020 ， 217 （ 10 ）： 1900950 . doi: 10.1002/pssa.201900950 http://dx.doi.org/10.1002/pssa.201900950

WEI L ， LIU Q X ， ZHU B ， et al . Low-cost and high-productivity three-dimensional nanocapacitors based on stand-up ZnO nanowires for energy storage ［J］. Nanoscale Research Letters ， 2016 ， 11 （ 1 ）： 1 - 9 . doi: 10.1186/s11671-016-1429-2 http://dx.doi.org/10.1186/s11671-016-1429-2

GUERFI Y ， LARRIEU G . Vertical silicon nanowire field effect transistors with nanoscale gate-all-around ［J］. Nanoscale Research Letters ， 2016 ， 11 （ 1 ）： 1 - 7 . doi: 10.1186/s11671-016-1396-7 http://dx.doi.org/10.1186/s11671-016-1396-7

JOREL C ， VALLÉE C ， GONON P ， et al . High performance metal-insulator-metal capacitor using a SrTiO 3 /ZrO 2 bilayer ［J］. Applied Physics Letters ， 2009 ， 94 （ 25 ）： 253502 . doi: 10.1063/1.3158951 http://dx.doi.org/10.1063/1.3158951

CHANG S W ， OH J ， BOLES S T ， et al . Fabrication of silicon nanopillar-based nanocapacitor arrays ［J］. Applied Physics Letters ， 2010 ， 96 （ 15 ）： 153108 . doi: 10.1063/1.3374889 http://dx.doi.org/10.1063/1.3374889

BANERJEE P ， PEREZ I ， HENN-LECORDIER L ， et al . Nanotubular metal-insulator-metal capacitor arrays for energy storage ［J］. Nature Nanotechnology ， 2009 ， 4 （ 5 ）： 292 - 296 . doi: 10.1038/nnano.2009.37 http://dx.doi.org/10.1038/nnano.2009.37

BANERJEE P ， PEREZ I ， HENN L L ， et al . ALD based Metal-insulator-metal （MIM） nanocapacitors for energy storage ［J］. ECS Transactions ， 2019 ， 25 （ 4 ）： 345 - 353 . doi: 10.1149/1.3205069 http://dx.doi.org/10.1149/1.3205069

BURKE M ， BLAKE A ， DJARA V ， et al . High aspect ratio iridescent three-dimensional metal-insulator-metal capacitors using atomic layer deposition ［J］. Journal of Vacuum Science & Technology A： Vacuum， Surfaces， and Films ， 2015 ， 33 （ 1 ）： 01A103 . doi: 10.1116/1.4891319 http://dx.doi.org/10.1116/1.4891319

HASPERT L C ， LEE S B ， RUBLOFF G W . Nanoengineering strategies for metal-insulator- metal electrostatic nanocapacitors ［J］. ACS Nano ， 2012 ， 6 （ 4 ）： 3528 - 3536 . doi: 10.1021/nn300553r http://dx.doi.org/10.1021/nn300553r

STRAMBINI L ， PAGHI A ， MARIANI S ， et al . Three-dimensional silicon-integrated capacitor with unprecedented areal capacitance for on-chip energy storage ［J］. Nano Energy ， 2020 ， 68 ： 104281 . doi: 10.1016/j.nanoen.2019.104281 http://dx.doi.org/10.1016/j.nanoen.2019.104281

LIN Y ， TAN C S . Physical and electrical characterization of 3D embedded capacitor： a high-density MIM capacitor embedded in TSV ［C］. 2017 IEEE 67th Electronic Components and Technology Conference （ECTC）. May 30-June 2 ， 2017 . Orlando， FL， USA. IEEE ， 2017： 1956 - 1961 . doi: 10.1109/ectc.2017.45 http://dx.doi.org/10.1109/ectc.2017.45

LI J W ， MA S L ， LIU H ， et al . Design， fabrication and characterization of TSV interposer integrated 3D capacitor for SIP applications ［C］. 2018 IEEE 68th Electronic Components and Technology Conference （ECTC）. May 29-June 1 ， 2018 . San Diego， CA. IEEE ， 2018： 1970 - 1980 . doi: 10.1109/ectc.2018.00296 http://dx.doi.org/10.1109/ectc.2018.00296

HSIA B ， KIM M S ， VINCENT M ， et al . Photoresist-derived porous carbon for on-chip micro-supercapacitors ［J］. Carbon ， 2013 ， 57 ： 395 - 400 . doi: 10.1016/j.carbon.2013.01.089 http://dx.doi.org/10.1016/j.carbon.2013.01.089

EL-KADY M F ， KANER R B . Scalable fabrication of high-power graphene micro-supercapacitors for flexible and on-chip energy storage ［J］. Nature Communications ， 2013 ， 4 ： 1475 . doi: 10.1038/ncomms2446 http://dx.doi.org/10.1038/ncomms2446

KURRA N ， ALHEBSHI N A ， ALSHAREEF H N . Microfabricated pseudocapacitors using Ni（OH） 2 electrodes exhibit remarkable volumetric capacitance and energy density ［J］. Advanced Energy Materials ， 2015 ， 5 （ 2 ）： 1401303 . doi: 10.1002/aenm.201401303 http://dx.doi.org/10.1002/aenm.201401303

SMITH A D ， LI Q ， ANDERSON A ， et al . Toward CMOS compatible wafer-scale fabrication of carbon-based microsupercapacitors for IoT ［J］. Journal of Physics： Conference Series ， 2018 ， 1052 ： 012143 . doi: 10.1088/1742-6596/1052/1/012143 http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/1052/1/012143

LIU F ， GUTES A ， LABORIANTE I ， et al . Graphitization of n-type polycrystalline silicon carbide for on-chip supercapacitor application ［J］. Applied Physics Letters ， 2011 ， 99 （ 11 ）： 112104 . doi: 10.1063/1.3638468 http://dx.doi.org/10.1063/1.3638468

JIANG Y Q ， ZHOU Q ， LIN L . Planar MEMS supercapacitor using carbon nanotube forests ［C］. 2009 IEEE 22nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems . 2529，2009 ， Sorrento ， Italy . IEEE ， 2009 ： 587 - 590 . doi: 10.1109/memsys.2009.4805450 http://dx.doi.org/10.1109/memsys.2009.4805450

GARDNER D S ， HOLZWARTH C W ， LIU Y ， et al . Integrated on-chip energy storage using passivated nanoporous-silicon electrochemical capacitors ［J］. Nano Energy ， 2016 ， 25 ： 68 - 79 . doi: 10.1016/j.nanoen.2016.04.016 http://dx.doi.org/10.1016/j.nanoen.2016.04.016

KYEREMATENG N A ， BROUSSE T ， PECH D . Microsupercapacitors as miniaturized energy-storage components for on-chip electronics ［J］. Nature Nanotechnology ， 2017 ， 12 （ 1 ）： 7 - 15 . doi: 10.1038/nnano.2016.196 http://dx.doi.org/10.1038/nnano.2016.196

ZHANG X Y ， ZHAO W ， WEI L ， et al . In-plane flexible solid-state microsupercapacitors for on-chip electronics ［J］. Energy ， 2019 ， 170 ： 338 - 348 . doi: 10.1016/j.energy.2018.12.184 http://dx.doi.org/10.1016/j.energy.2018.12.184

KIM C ， KANG D Y ， MOON J H . Full lithographic fabrication of boron-doped 3D porous carbon patterns for high volumetric energy density microsupercapacitors ［J］. Nano Energy ， 2018 ， 53 ： 182 - 188 . doi: 10.1016/j.nanoen.2018.08.044 http://dx.doi.org/10.1016/j.nanoen.2018.08.044

HAN F ， MENG G ， ZHOU F ， et al . Dielectric capacitors with three-dimensional nanoscale interdigital electrodes for energy storage ［J］. Science Advances ， 2015 ， 1 （ 9 ）： 500 - 605 . doi: 10.1126/sciadv.1500605 http://dx.doi.org/10.1126/sciadv.1500605

WU H ， YU G H ， PAN L J ， et al . Stable Li-ion battery anodes by in situ polymerization of conducting hydrogel to conformally coat silicon nanoparticles ［J］. Nature Communications ， 2013 ， 4 ： 1943 . doi: 10.1038/ncomms2941 http://dx.doi.org/10.1038/ncomms2941

WU Z S ， PARVEZ K ， FENG X L ， et al . Graphene-based in-plane micro-supercapacitors with high power and energy densities ［J］. Nature Communications ， 2013 ， 4 ： 2487 . doi: 10.1038/ncomms3487 http://dx.doi.org/10.1038/ncomms3487

SONG B ， LI L Y ， LIN Z Y ， et al . Water-dispersible graphene/polyaniline composites for flexible micro-supercapacitors with high energy densities ［J］. Nano Energy ， 2015 ， 16 ： 470 - 478 . doi: 10.1016/j.nanoen.2015.06.020 http://dx.doi.org/10.1016/j.nanoen.2015.06.020

WU Z S ， PARVEZ K ， LI S ， et al . Alternating stacked graphene-conducting polymer compact films with ultrahigh areal and volumetric capacitances for high-energy micro- supercapacitors ［J］. Advanced Materials ， 2015 ， 27 （ 27 ）： 4054 - 4061 . doi: 10.1002/adma.201501643 http://dx.doi.org/10.1002/adma.201501643

ZHANG Y ， ZHAO Y ， CAO S S ， et al . Design and synthesis of hierarchical SiO 2 @C/TiO 2 hollow spheres for high-performance supercapacitors ［J］. ACS Applied Materials & Interfaces ， 2017 ， 9 （ 35 ）： 29982 - 29991 . doi: 10.1021/acsami.7b08776 http://dx.doi.org/10.1021/acsami.7b08776

KIM S K ， KOO H J ， LEE A ， et al . Selective wetting-induced micro-electrode patterning for flexible micro-supercapacitors ［J］. Advanced Materials ， 2014 ， 26 （ 30 ）： 5108 - 5112 . doi: 10.1002/adma.201401525 http://dx.doi.org/10.1002/adma.201401525

兰红波 ， 郭良乐 ， 许权 ， 等 . 大面积纳米压印光刻晶圆级复合软模具制造 ［J］. 光学 精密工程 ， 2018 ， 26 （ 4 ）： 894 - 905 . doi: 10.3788/OPE.20182604.0894 http://dx.doi.org/10.3788/OPE.20182604.0894

LAN H B ， GUO L L ， XU Q ， et al . Wafer-level composite mold for large-area nanoimprint lithography ［J］. Opt. Precision Eng. ， 2018 ， 26 （ 4 ）： 894 - 905 . （in Chinese） . doi: 10.3788/OPE.20182604.0894 http://dx.doi.org/10.3788/OPE.20182604.0894

骆公序 ， 荆超 ， 汪于涛 ， 等 . 紫外皮秒激光刻蚀体硅工艺研究 ［J］. 应用激光 ， 2019 ， 39 （ 6 ）： 1002 - 1005 .

LUO G X ， JING CH ， WANG Y T ， et al . UV picosecond laser direct etching on bulk silicon ［J］. Applied Laser ， 2019 ， 39 （ 6 ）： 1002 - 1005 . （in Chinese）

WANG Z Y . Microsystems using three-dimensional integration and TSV technologies： Fundamentals and applications ［J］. Microelectronic Engineering ， 2019 ， 210 ： 35 - 64 . doi: 10.1016/j.mee.2019.03.009 http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2019.03.009

姜玉婷 ， 张毅 ， 胡跃强 ， 等 . 增强现实近眼显示设备中光波导元件的研究进展 ［J］. 光学 精密工程 ， 2021 ， 29 （ 1 ）： 28 - 44 . doi: 10.37188/OPE.20212901.0028 http://dx.doi.org/10.37188/OPE.20212901.0028

JIANG Y T ， ZHANG Y ， HU Y Q ， et al . Development of optical waveguide elements in augmented reality near-eye displays ［J］. Opt. Precision Eng. ， 2021 ， 29 （ 1 ）： 28 - 44 . （in Chinese） . doi: 10.37188/OPE.20212901.0028 http://dx.doi.org/10.37188/OPE.20212901.0028

王惠娟 ， 万里兮 ， 吕垚 ， 等 . 高密度低寄生电感硅基半导体电容器的设计及验证 ［J］. 电子元件与材料 ， 2010 ， 29 （ 3 ）： 68 - 72 . doi: 10.3969/j.issn.1001-2028.2010.03.019 http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1001-2028.2010.03.019

WANG H J ， WAN L X ， LÜ Y ， et al . Design and validation of high density and low parasitic inductance semiconductor silicon-based capacitor ［J］. Electronic Components and Materials ， 2010 ， 29 （ 3 ）： 68 - 72 . （in Chinese） . doi: 10.3969/j.issn.1001-2028.2010.03.019 http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1001-2028.2010.03.019

WU Z S ， TAN Y Z ， ZHENG S H ， et al . Bottom-up fabrication of sulfur-doped graphene films derived from sulfur-annulated nanographene for ultrahigh volumetric capacitance micro-supercapacitors ［J］. Journal of the American Chemical Society ， 2017 ， 139 （ 12 ）： 4506 - 4512 . doi: 10.1021/jacs.7b00805 http://dx.doi.org/10.1021/jacs.7b00805

ZHENG S H ， LI Z L ， WU Z S ， et al . High packing density unidirectional arrays of vertically aligned graphene with enhanced areal capacitance for high-power micro- supercapacitors ［J］. ACS Nano ， 2017 ， 11 （ 4 ）： 4009 - 4016 . doi: 10.1021/acsnano.7b00553 http://dx.doi.org/10.1021/acsnano.7b00553

王晓峰 ， 陈学坤 ， 尹亚江 ， 等 . 硅基MEMS三维微电极阵列的超电容特性 ［J］. 纳米技术与精密工程 ， 2013 ， 11 （ 1 ）： 68 - 73 .

WANG X F ， CHEN X K ， YIN Y J ， et al . Supercapacitor performance of MEMS three-dimensional silica-based microelectrode arrays ［J］. Nanotechnology and Precision Engineering ， 2013 ， 11 （ 1 ）： 68 - 73 . （in Chinese）

文春明 ， 温志渝 ， 尤政 ， 等 . 硅基微型超级电容器三维微电极结构制备 ［J］. 电子元件与材料 ， 2012 ， 31 （ 5 ）： 42 - 45， 59 . doi: 10.3969/j.issn.1001-2028.2012.05.012 http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1001-2028.2012.05.012

WEN CH M ， WEN ZH Y ， YOU ZH ， et al . Preparation of three-dimensional silicon micro-electrode structure for micro-supercapacitor ［J］. Electronic Components and Materials ， 2012 ， 31 （ 5 ）： 42 - 45， 59 . （in Chinese） . doi: 10.3969/j.issn.1001-2028.2012.05.012 http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1001-2028.2012.05.012

MENG L ， HE X ， GAO J ， et al . A novel nanofabrication technique of silicon-based nanostructures ［J］. Nanoscale Research Letters ， 2016 ， 11 （ 1 ）： 504 . doi: 10.1186/s11671-016-1702-4 http://dx.doi.org/10.1186/s11671-016-1702-4

SUN W ， ZHENG R L ， CHEN X Y . Symmetric redox supercapacitor based on micro-fabrication with three-dimensional polypyrrole electrodes ［J］. Journal of Power Sources ， 2010 ， 195 （ 20 ）： 7120 - 7125 . doi: 10.1016/j.jpowsour.2010.05.012 http://dx.doi.org/10.1016/j.jpowsour.2010.05.012

BHANU J U ， AMUTHA A ， BABU G R ， et al . Crystalline phase dependent electrical properties of Mg incorporated tetragonal phase stabilized ZrO 2 high-k dielectric layer in Si based MOS capacitors ［J］. Materials Science in Semiconductor Processing ， 2018 ， 81 ： 7 - 16 . doi: 10.1016/j.mssp.2018.02.031 http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2018.02.031

陈杰 ， 李俊 ， 赵金茹 ， 等 . ALD氧化铝薄膜介电性能及其在硅电容器的应用 ［J］. 电子与封装 ， 2013 ， 13 （ 9 ）： 31 - 34 . doi: 10.3969/j.issn.1681-1070.2013.09.008 http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1681-1070.2013.09.008

CHEN J ， LI J ， ZHAO J R ， et al . Dielectric property of ALD Al 2 O 3 film and its application in silicon capacitor ［J］. Electronics & Packaging ， 2013 ， 13 （ 9 ）： 31 - 34 . （in Chinese） . doi: 10.3969/j.issn.1681-1070.2013.09.008 http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1681-1070.2013.09.008

吕雁慧 ， 郭丽芳 ， 李刚 ， 等 . 阳极氧化制备硅基氧化铝薄膜MIM电容器 ［J］. 微纳电子技术 ， 2019 ， 56 （ 6 ）： 493 - 498， 504 .

LÜ Y H ， GUO L F ， LI G ， et al . Preparation of silicon-based Al 2 O 3 thin film MIM capacitors by anodic oxidation ［J］. Micronanoelectronic Technology ， 2019 ， 56 （ 6 ）： 493 - 498， 504 . （in Chinese）

CHEW C C ， GOH K H ， GORJI M S ， et al . Breakdown field enhancement of Si-based MOS capacitor by post-deposition annealing of the reactive sputtered ZrO x N y gate oxide ［J］. Applied Physics A ， 2016 ， 122 （ 2 ）： 66 . doi: 10.1007/s00339-016-9624-7 http://dx.doi.org/10.1007/s00339-016-9624-7

WANG G P ， ZHANG L ， ZHANG J J . A review of electrode materials for electrochemical supercapacitors ［J］. Chemical Society Reviews ， 2012 ， 41 （ 2 ）： 797 - 828 . doi: 10.1039/c1cs15060j http://dx.doi.org/10.1039/c1cs15060j

XING Z Y ， QI Y T ， TIAN Z Q ， et al . Identify the removable substructure in carbon activation ［J］. Chemistry of Materials ， 2017 ， 29 （ 17 ）： 7288 - 7295 . doi: 10.1021/acs.chemmater.7b01937 http://dx.doi.org/10.1021/acs.chemmater.7b01937

LIU L ， YE D ， YU Y ， et al . Carbon-based flexible micro-supercapacitor fabrication via mask-free ambient micro-plasma-jet etching ［J］. Carbon ， 2017 ， 111 ： 121 - 127 . doi: 10.1016/j.carbon.2016.09.037 http://dx.doi.org/10.1016/j.carbon.2016.09.037

AN H ， LI Y ， LONG P ， et al . Hydrothermal preparation of fluorinated graphene hydrogel for high-performance supercapacitors ［J］. Journal of Power Sources ， 2016 ， 312 ： 146 - 155 . doi: 10.1016/j.jpowsour.2016.02.057 http://dx.doi.org/10.1016/j.jpowsour.2016.02.057

ZHU S J ， LI L ， LIU J B ， et al . Structural directed growth of ultrathin parallel birnessite on β-MnO 2 for high-performance asymmetric supercapacitors ［J］. ACS Nano ， 2018 ， 12 （ 2 ）： 1033 - 1042 . doi: 10.1021/acsnano.7b03431 http://dx.doi.org/10.1021/acsnano.7b03431

YI H ， WANG H W ， JING Y T ， et al . Asymmetric supercapacitors based on carbon nanotubes@NiO ultrathin nanosheets core-shell composites and MOF-derived porous carbon polyhedrons with super-long cycle life ［J］. Journal of Power Sources ， 2015 ， 285 ： 281 - 290 . doi: 10.1016/j.jpowsour.2015.03.106 http://dx.doi.org/10.1016/j.jpowsour.2015.03.106

FUGARE B Y ， LOKHANDE B J . Study on structural， morphological， electrochemical and corrosion properties of mesoporous RuO 2 thin films prepared by ultrasonic spray pyrolysis for supercapacitor electrode application ［J］. Materials Science in Semiconductor Processing ， 2017 ， 71 ： 121 - 127 . doi: 10.1016/j.mssp.2017.07.016 http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2017.07.016

TUMMALA R ， GUDURU R K ， MOHANTY P S . Nanostructured Co 3 O 4 electrodes for supercapacitor applications from plasma spray technique ［J］. Journal of Power Sources ， 2012 ， 209 ： 44 - 51 . doi: 10.1016/j.jpowsour.2012.02.071 http://dx.doi.org/10.1016/j.jpowsour.2012.02.071

穆继亮 ， 耿文平 ， 何剑 ， 等 . 三维硅基电容器W薄膜电极特性及影响 ［J］. 半导体技术 ， 2018 ， 43 （ 10 ）： 771 - 776 . doi: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2018.10.009 http://dx.doi.org/10.13290/j.cnki.bdtjs.2018.10.009

MU J L ， GENG W P ， HE J ， et al . Characteristics and effects of W thin films used as the electrodes on 3D silicon capacitors ［J］. Semiconductor Technology ， 2018 ， 43 （ 10 ）： 771 - 776 . （in Chinese） . doi: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2018.10.009 http://dx.doi.org/10.13290/j.cnki.bdtjs.2018.10.009

GRIGORAS K ， KESKINEN J ， GRÖNBERG L ， et al . Conformal titanium nitride in a porous silicon matrix： a nanomaterial for in-chip supercapacitors ［J］. Nano Energy ， 2016 ， 26 ： 340 - 345 . doi: 10.1016/j.nanoen.2016.04.029 http://dx.doi.org/10.1016/j.nanoen.2016.04.029