Design on constant coherent light intensity fringe locking system for scanning beam interference lithography

恒光强扫描干涉光刻条纹锁定系统设计 Design on constant coherent light intensity fringe locking system for scanning beam interference lithography 1 corresp first-author E-mail： wang-lj66@mail.tsinghua.edu.cn E-mail： wang-lj66@mail.tsinghua.edu.cn 王磊杰（1988-），男，河南周口人，博士，助理研究员，2010年于中国矿业大学（北京）获得学士学位，2016年于清华大学获得博士学位，主要学术研究兴趣：基于扫描干涉光刻的大口径光栅制造技术、超精密光栅编码器位移测量技术和超精密激光干涉仪位移测量技术。E-mail： wang-lj66@mail.tsinghua.edu.cn http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050346&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050355&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050336&type= 22.01332855 32.00399780 王磊杰 （1988-），男，河南周口人，博士，助理研究员，2010年于中国矿业大学（北京）获得学士学位，2016年于清华大学获得博士学位，主要学术研究兴趣：基于扫描干涉光刻的大口径光栅制造技术、超精密光栅编码器位移测量技术和超精密激光干涉仪位移测量技术。E-mail： wang-lj66@mail.tsinghua.edu.cn wang-lj66@mail.tsinghua.edu.cn 2 罗伟文（1996-），男，广西玉林人，硕士，2018年、2021年于电子科技大学分别获得学士、硕士学位，主要学术研究兴趣：扫描干涉光刻技术。E-mail：201822040505@std.uestc.edu.cn http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050357&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050363&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050369&type= 22.01332855 32.00399780 罗伟文 （1996-），男，广西玉林人，硕士，2018年、2021年于电子科技大学分别获得学士、硕士学位，主要学术研究兴趣：扫描干涉光刻技术。E-mail： 201822040505@std.uestc.edu.cn 201822040505@std.uestc.edu.cn 1 1 清华大学 机械工程系 摩擦学国家重点实验室&精密超精密制造装备及 控制北京市重点实验室 ，北京 100084 清华大学 机械工程系 摩擦学国家重点实验室&精密超精密制造装备及 控制北京市重点实验室 ，北京 100084 State Key Laboratory of Tribology & Beijing Key Lab of Precision/Ultra-precision Manufacturing Equipments and Control， Department of Mechanical Engineering， Tsinghua University， Beijing 100084， China State Key Laboratory of Tribology & Beijing Key Lab of Precision/Ultra-precision Manufacturing Equipments and Control， Department of Mechanical Engineering， Tsinghua University， Beijing 100084， China 电子科技大学，四川 成都 611731 电子科技大学，四川 成都 611731 University of Electronic Science and Technology of China， Chengdu 611731 University of Electronic Science and Technology of China， Chengdu 611731 为提高扫描干涉光刻机的加工效率和加工精度、扩大加工范围、降低维护成本，提出了一种可实现干涉条纹周期、方向和相位同步实时调节控制的扫描干涉光刻机系统方案，并着重介绍了最为关键的恒光强干涉条纹相位锁定系统的设计。首先，介绍了扫描干涉光刻中干涉条纹周期、方向和相位同步实时调节控制的扫描干涉光刻机系统原理方案，并设计实现了恒光强外差声光移频式干涉条纹相位锁定控制系统。然后，分析了控制系统理论模型，对系统实际模型进行辨识和高阶线性拟合，并设计了系统控制器。最后，在该控制器的基础上开展了调试和条纹锁定控制。实验结果显示，开启条纹锁定控制后，100 Hz以下的低频扰动成分受到明显抑制，干涉图形相位锁定的残余误差为0.069 3 rad（3 σ ），即相位变化小于±0.01个干涉条纹周期；光束偏移调控误差达到100 μm时，干涉条纹锁定性能仍能保持稳定。该系统不仅可实现不同干涉姿态下干涉条纹的高精度锁定，还具有较大的光束调控误差裕度，满足干涉条纹周期、方向和相位同步实时控制的扫描干涉光刻机的需求。 In order to improve the processing efficiency and processing accuracy of scanning beam interference lithography machines， expand their processing range， and reduce maintenance costs， a scanning beam interference lithography system is proposed， which can realize the synchronization and real-time adjustment and control of the interference fringe period， direction， and phase. Additionally， the design of the most critical constant coherent light intensity interference fringe phase locking system is emphatically introduced. First， the principle scheme of the scanning beam interference lithography tool with real-time adjustment and control of the interference fringe period， direction， and phase in lithography is introduced， and the constant coherent light intensity heterodyne acousto-optic frequency-shifted interference fringe phase locking control system is designed and implemented. Then， the theoretical model of the control system is analyzed， the actual model of the system is identified， high-order linear fitting is performed， and the system controller is designed. Finally， debugging and fringe lock control are performed on the basis of this controller. The experimental results show that after fringe locking control is turned on， low-frequency disturbance components below 100 Hz are significantly suppressed， and the residual error of the interference pattern phase locking is 0.0693 rad （3σ）； that is， the phase change is less than a factor of ±0.01 of the interference fringe period. Additionally， when the beam offset adjustment error reaches 100 μm， the interfering fringe lockability remains stable. The system can not only achieve high-precision locking of interference fringes under different interference attitudes， but it also has a large beam control error margin， which meets the needs of a scanning beam interference lithography machine with real-time control of the interference fringe period， direction， and phase. 扫描干涉光刻 条纹锁定 外差相位测量干涉仪 scanning beam interference lithography fringe locking heterodyne phase measurement interferometer 1 引　言 1 作为高端浸没式光刻机 ［ 1 1 - 2 2 1-2 ］ 、惯性约束核聚变激光驱动装置 ［ 3 3 - 4 4 3-4 ］ 等的核心关键零部件，单体大尺寸高精度全息平面光栅有着重要应用。这种光栅器件尺寸很大（半米至米级）、栅线密度很高（每毫米上千线）且精度要求很高，工艺难度和对加工设备要求很高，从而导致这类器件的制造难度很大。这种器件的核心制造工艺流程为基板清洗—涂胶—曝光—显影—刻蚀—镀膜，需要极为精密的专用大型弯月面涂胶机、大型干涉光刻设备、反应离子束刻蚀设备等方能实现制造。大型扫描干涉光刻设备则是实现这种光栅器件的关键核心设备之一。 目前，大型扫描干涉光刻设备以麻省理工学院参与研发的两代大尺寸高精度扫描干涉光刻机（Nanoruler Ⅰ和Ⅱ） ［ 5 5 - 10 10 5-10 ］ 最具代表性，其中，与普利茅斯光栅实验室共同开发的Nanoruler Ⅱ功能和性能更为强大和成熟。Nanoruler Ⅱ将第一代的反射式干涉成像方案升级为透镜折射式干涉成像方案，利用高速压电控制的反射镜实时调节光束的干涉位姿，并设计了新的相位测量光路，实现了干涉条纹的周期、方向和相位实时调节及控制。基于该设备，普利茅斯光栅实验室已批量实现多种类型的大尺寸高精度全息光栅的生产，生产光栅的最大尺寸达910 mm（长）×420 mm（宽），栅线精度达±50×10 - 9 。国内开展扫描干涉曝光设备研究的单位主要有清华大学光栅与测量实验室、清华大学IC装备实验室、长春光学精密机械与物理研究所光栅中心和上海光机所等，目前已取得较为丰硕的成果 ［ 11 11 - 14 14 11-14 ］ ，但在技术水平上与国外还存在一定差距。清华大学IC实验室的学者在详细总结分析扫描干涉光刻技术发展现状和趋势的基础上，指出实现干涉图形周期、方向和相位的实时调整控制是扫描干涉光刻技术和设备未来发展的方向 ［ 15 15 ］ 。 干涉条纹锁定系统是扫描干涉光刻设备的核心分系统，其主要作用是抑制空气扰动、振动等外界扰动导致干涉条纹的漂移以及补偿运动平台运动误差，提高曝光对比度及精度。干涉条纹锁定系统常用的相位调节方式主要有：压电陶瓷（PZT）调节式 ［ 16 16 - 17 17 16-17 ］ 、电光调制器（EOM）调节式 ［ 18 18 ］ 和声光调制器（AOM）调节式 ［ 12 12 ， 19 19 ］ ，相位测量是在干涉曝光光路中将光束形成零差式 ［ 12 12 ， 20 20 ］ 或外差式干涉 ［ 19 19 ］ ，利用相机传感器（CCD）或光电探测器（PD）检测干涉信号的变化，然后解算出干涉图形相位的变化。其中，相较于其它条纹锁定控制系统，外差声光移频式干涉条纹锁定系统具有调制速度快、锁定精度高的优势，更为适用于大尺寸曝光的扫描干涉光刻机。麻省理工学院的学者研制的两代大尺寸高精度扫描干涉光刻机均采用外差声光移频式干涉条纹锁定系统，Nanoruler I的条纹锁定系统光路在加工不同栅距光栅时调整光路非常复杂，影响其的加工效率、维护维修，文献 ［ 10 10 ］ 中的Nanoruler II系统方案可以实现自动简便的光路调整，但是Nanoruler II方案图中光路缺少较为细化的设计，相位测量干涉仪缺少光路偏振设计方案，难以实现相干信号的检测。 鉴于此，本文提供了一种可实现干涉条纹周期、方向和相位同步实时控制的扫描干涉光刻机系统方案，细致分析了干涉图形周期和方向调节原理和干涉条纹相位测量锁定控制方法，该方式可保证相位测量干涉信号保持恒定光强，通过光学仿真验证了方案的可行性。通过系统控制理论建模及模型辨识，设计了相位锁定系统控制器，基于该控制器进行了干涉图形相位锁定控制实验。 2 系统构成与工作原理 1 2.1　变周期变方向扫描干涉光刻系统 2 变周期变方向扫描干涉光刻系统包括光束姿态调节模块、干涉图形相位测量与锁定模块和扫描曝光模块，如 图1 图1 所示。 激光器的出射光经声光调制器（AOM1）和衍射光栅分成三路光，三路光通过三个万向镜（GM1、GM2、GM3）反射通过非球面聚焦透镜，光束变为与透镜光轴平行的光束，用于曝光的两束光再次经过一个非球面透镜聚焦在基底上产生干涉，二自由度工件台承载着涂抹有光刻胶的基底相对于干涉图形扫描曝光，通过扫描步进拼接完成整个基底的曝光。万向镜的转动调节着光束在透镜面内、面外两个维度的位置，进而改变光束聚焦干涉方位达到调整干涉图形周期和方向的目的。 利用布拉格型声光调制器对光束的频率进行调制，AOM1的调制频率 f 1 为固定的120 MHz，AOM2的调制频率 f 2 为固定的100 MHz，AOM3的调制频率为 f 3 +Δ f ，其中 f 3 =100 MHz，Δ f 为调节干涉图形相位所需的频率。三个声光调制器产生的一级衍射光进入相位测量干涉仪（PMI： Phase measurement interferometer），形成两路拍频干涉信号，对两个信号的相位进行解算计算出干涉图形的相位漂移量Δ φ 。为了锁定干涉条纹，通过声光调频对干涉图形的相位进行补偿调节，干涉图形的相位调节量与频率调节量具有如下关系： <math display="block" id="M1"><mi mathvariant="normal">Δ</mi><mi>φ</mi><mo>=</mo><mn mathvariant="normal">2</mn><mi mathvariant="normal">π</mi><msubsup><mo>∫</mo><mrow><mn mathvariant="normal">0</mn></mrow><mrow><mi>T</mi></mrow></msubsup><mrow><mi mathvariant="normal">Δ</mi><mi>f</mi></mrow><mi mathvariant="normal">d</mi><mi>t</mi></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050401&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050386&type= 25.14599991 7.87400007 ， 其中， T 为控制伺服周期。 为了确保相位测量干涉仪相干信号的光强恒定，利用三个高精度光束位置敏感探测器（PSD：Position-sensitive detector）实时检测光束的位移，通过闭环调节保证PMI中干涉光束的面内面外偏移量一致。万向镜的反射转动中心布置在非球面透镜焦点处，万向镜在调节光束姿态的过程中，第一次经过非球面透镜的光束的角度保持不变。因此，PMI的干涉信号能保持高信噪比、恒相干光强状态。 2.2　干涉方位与干涉图形周期和方向的关系 2 图2 图2 为两高斯光束经过非球面透镜聚焦干涉的示意图，以干涉点为原点建立空间直角坐标系。 OA 和 OB 为两束 yOz 面内的光束， θ 1 和 θ 2 分别为 OA 与 OB 与基底法向量的夹角，假设两光束大小相等且为平面波。则 OA 与 OB 干涉时干涉图形的相干光强分布为： <math display="block" id="M2"><mtable columnalign="left"><mtr><mtd><mi>I</mi><mo stretchy="false">(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo stretchy="false">)</mo><mo>=</mo><mfrac><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">π</mi><msup><mrow><mi>r</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msup></mrow></mfrac><mi mathvariant="normal">e</mi><mi mathvariant="normal">x</mi><mi mathvariant="normal">p</mi><mfenced separators="|"><mrow><mo>-</mo><mn mathvariant="normal">2</mn><mfrac><mrow><msup><mrow><mi>x</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msup><mo>+</mo><msup><mrow><mi>y</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msup></mrow><mrow><msup><mrow><mi>r</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msup></mrow></mfrac></mrow></mfenced><mo>×</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mfenced open="[" close="]" separators="|"><mrow><msub><mrow><mi>P</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mo>+</mo><msub><mrow><mi>P</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mo>+</mo><mn mathvariant="normal">2</mn><mroot><mrow><msub><mrow><mi>P</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><msub><mrow><mi>P</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub></mrow><mrow/></mroot><mi mathvariant="normal">c</mi><mi mathvariant="normal">o</mi><mi mathvariant="normal">s</mi><mo stretchy="false">(</mo><mi>k</mi><mi>ψ</mi><mo>+</mo><msub><mrow><mi>φ</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">0</mn></mrow></msub><mo stretchy="false">)</mo></mrow></mfenced><mo>,</mo></mtd></mtr></mtable></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050413&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050395&type= 57.15000153 17.69533348 其中： r 为光束的横截面半径， P 1 和 P 2 为光束的功率， φ 0 为 O 点的相干初相位， k 为2π/ λ ， <math id="M3"><mi>ψ</mi></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050486&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050488&type= 2.11666679 3.55599999 是与位置相关的函数，表示为： <math display="block" id="M4"><mi>ψ</mi><mo stretchy="false">(</mo><mi>y</mi><mo stretchy="false">)</mo><mo>=</mo><mi>y</mi><mi mathvariant="normal">s</mi><mi mathvariant="normal">i</mi><mi mathvariant="normal">n</mi><msub><mrow><mi>θ</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mo>+</mo><mi>y</mi><mi mathvariant="normal">s</mi><mi mathvariant="normal">i</mi><mi mathvariant="normal">n</mi><msub><mrow><mi>θ</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050422&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050432&type= 37.84600067 4.91066647 . <math id="M5"><mi>ψ</mi></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050486&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050488&type= 2.11666679 3.55599999 为 y 的函数，当 <math id="M6"><mi>ψ</mi></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050486&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050488&type= 2.11666679 3.55599999 变化 λ 的整数倍时，相干相位改变2π的整数倍，相干光强发生一次明暗相间变化，干涉条纹的分布方向垂直于 y 轴，干涉图形周期为： <math display="block" id="M7"><mi>T</mi><mo>=</mo><mfrac><mrow><mi>λ</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">s</mi><mi mathvariant="normal">i</mi><mi mathvariant="normal">n</mi><msub><mrow><mi>θ</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mo>+</mo><mi mathvariant="normal">s</mi><mi mathvariant="normal">i</mi><mi mathvariant="normal">n</mi><msub><mrow><mi>θ</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub></mrow></mfrac></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050451&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050465&type= 28.61733437 8.89000034 . 当干涉光束 OA 和 OB 由 yOz 面往两侧调节时， A 位置调节到 A '， B 调节到 B '，干涉点位置不变，式子（2）中的 <math id="M8"><mi>ψ</mi></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050486&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050488&type= 2.11666679 3.55599999 可表示为： <math display="block" id="M9"><mtable><mtr><mtd><mi>ψ</mi><mo stretchy="false">(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo stretchy="false">)</mo><mo>=</mo><mfrac><mrow><mi mathvariant="bold-italic">O</mi><mi mathvariant="bold-italic">B</mi><mi>'</mi><mo>⋅</mo><mi mathvariant="bold-italic">O</mi><mi mathvariant="bold-italic">P</mi></mrow><mrow><mfenced open="|" close="|" separators="|"><mrow><mi mathvariant="bold-italic">O</mi><mi mathvariant="bold-italic">B</mi><mi mathvariant="normal">'</mi></mrow></mfenced></mrow></mfrac><mo>-</mo><mfrac><mrow><mi mathvariant="bold-italic">O</mi><mi mathvariant="bold-italic">A</mi><mi mathvariant="normal">'</mi><mo>⋅</mo><mi mathvariant="bold-italic">O</mi><mi mathvariant="bold-italic">P</mi></mrow><mrow><mfenced open="|" close="|" separators="|"><mrow><mi mathvariant="bold-italic">O</mi><mi mathvariant="bold-italic">A</mi><mi mathvariant="normal">'</mi></mrow></mfenced></mrow></mfrac><mo>=</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mfrac><mrow><mi>x</mi><mo>⋅</mo><msub><mrow><mi>x</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mo>+</mo><mi>y</mi><mo>⋅</mo><msub><mrow><mi>y</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub></mrow><mrow><mroot><mrow><msub><mrow><mi>l</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub></mrow><mrow/></mroot></mrow></mfrac><mo>-</mo><mfrac><mrow><mi>x</mi><mo>⋅</mo><msub><mrow><mi>x</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mo>+</mo><mi>y</mi><mo>⋅</mo><msub><mrow><mi>y</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub></mrow><mrow><mroot><mrow><msub><mrow><mi>l</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub></mrow><mrow/></mroot></mrow></mfrac><mo>,</mo></mtd></mtr></mtable></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050479&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050475&type= 54.18666840 22.52133369 其中，（ x ， y ， z ）、（ x 1 ， y 1 ， z 1 ）、（ x 2 ， y 2 ， z 2 ）分别为 P 、 A '、 B '点的坐标， l 1 = x 1 ²+ y 1 ²+ z 1 ²， l 2 = x 2 ²+ y 2 ²+ z 2 ²。此时， <math id="M10"><mi>ψ</mi></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050486&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050488&type= 2.11666679 3.55599999 的最速下降梯度方向即为干涉图形方向，该方向与 x 轴夹角为： <math display="block" id="M11"><mi>α</mi><mo>=</mo><mi mathvariant="normal">t</mi><mi mathvariant="normal">a</mi><msup><mrow><mi mathvariant="normal">n</mi></mrow><mrow><mo>-</mo><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msup><mfenced separators="|"><mrow><mfrac><mrow><msub><mrow><mi>x</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mroot><mrow><msub><mrow><mi>l</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub></mrow><mrow/></mroot><mo>-</mo><msub><mrow><mi>x</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mroot><mrow><msub><mrow><mi>l</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub></mrow><mrow/></mroot></mrow><mrow><msub><mrow><mi>y</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mroot><mrow><msub><mrow><mi>l</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub></mrow><mrow/></mroot><mo>-</mo><msub><mrow><mi>y</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mroot><mrow><msub><mrow><mi>l</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub></mrow><mrow/></mroot></mrow></mfrac></mrow></mfenced></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050490&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050503&type= 41.90999985 12.53066730 . 沿该方向干涉图形的周期为： <math display="block" id="M12"><mi>T</mi><mo>=</mo><mfrac><mrow><mi>λ</mi><mroot><mrow><msub><mrow><mi>l</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><msub><mrow><mi>l</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub></mrow><mrow/></mroot></mrow><mrow><mroot><mrow><mo stretchy="false">(</mo><msub><mrow><mi>y</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mroot><mrow><msub><mrow><mi>l</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub></mrow><mrow/></mroot><mo>-</mo><msub><mrow><mi>y</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><msup><mrow><mroot><mrow><msub><mrow><mi>l</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub></mrow><mrow/></mroot><mo stretchy="false">)</mo></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msup><mo>+</mo><mo stretchy="false">(</mo><msub><mrow><mi>x</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mroot><mrow><msub><mrow><mi>l</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub></mrow><mrow/></mroot><mo>-</mo><msub><mrow><mi>x</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><msup><mrow><mroot><mrow><msub><mrow><mi>l</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub></mrow><mrow/></mroot><mo stretchy="false">)</mo></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msup></mrow><mrow/></mroot></mrow></mfrac></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050512&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050509&type= 71.96665955 12.69999981 . 由分析可见，通过调节聚焦透镜出光点的位置可以改变干涉图形的周期和方向。 2.3　恒相干光强相位测量干涉仪 2 相位测量干涉仪的结构分布如 图3 图3 所示。相位测量干涉仪外差干涉信号的参考光为AOM1产生的一级衍射光，用分光镜截获曝光光束的部分光作为测量光。参考光 l r 经特殊分光镜PBS1分为两路，一路反射进入角锥最终到达光电探测器PD1，与测量光 l m1 干涉；另一路透射后经过反射镜回光最终到达光电探测器PD2，与测量光 l m2 干涉。 理论上，光束在PMI内部只发生无角度改变的平移，通过PSD实时监测修正参考光和测量光在面内外的位移，使之满足： <math display="block" id="M13"><mtable columnalign="left"><mtr><mtd><mi mathvariant="normal">Δ</mi><msub><mrow><mi>x</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">r</mi></mrow></msub><mo>=</mo><mi mathvariant="normal">Δ</mi><msub><mrow><mi>x</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">m</mi><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mo>=</mo><mo>-</mo><mi mathvariant="normal">Δ</mi><msub><mrow><mi>x</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">m</mi><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub></mtd></mtr><mtr><mtd><mi mathvariant="normal">Δ</mi><msub><mrow><mi>z</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">r</mi></mrow></msub><mo>=</mo><mi mathvariant="normal">Δ</mi><msub><mrow><mi>z</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">m</mi><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mo>=</mo><mo>-</mo><mi mathvariant="normal">Δ</mi><msub><mrow><mi>z</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">m</mi><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub></mtd></mtr></mtable></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050537&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050527&type= 32.93532944 8.38199997 ， 其中：Δ x 为相应光束在 x 轴方向（面外）的偏移量，Δ z 为相应光束在 z 轴方向（面内）的偏移量。由此确保参考光和测量光始终保持重合，进而保持恒定的相干光强。 针对PMI光路，以偏振琼斯矩阵的形式推导两路干涉信号形成的原理， J 代表光学器件的琼斯矩阵，如 表1 表1 所示。在PMI之外，参考光和测量光均为垂直偏振态（s-polarization），参考光 l r 的光矢量可以表示为： <math display="block" id="M14"><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mo>=</mo><msub><mrow><mi>A</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mi mathvariant="normal">e</mi><mi mathvariant="normal">x</mi><mi mathvariant="normal">p</mi><mi>i</mi><mo stretchy="false">(</mo><mn mathvariant="normal">2</mn><mi mathvariant="normal">π</mi><msub><mrow><mi>f</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mi>t</mi><mo>+</mo><msub><mrow><mi>φ</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mo stretchy="false">(</mo><mi>t</mi><mo stretchy="false">)</mo><mo stretchy="false">)</mo><mfenced separators="|"><mrow><mtable columnalign="left"><mtr><mtd><mn mathvariant="normal">0</mn></mtd></mtr><mtr><mtd><mn mathvariant="normal">1</mn></mtd></mtr></mtable></mrow></mfenced></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050545&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050549&type= 51.22333527 8.12800026 . 偏振光学器件 琼斯矩阵 J 1/4波片（QW） <math id="M15"><mfrac><mrow><mn>1</mn></mrow><mrow><mroot><mrow><mn>2</mn></mrow><mrow/></mroot></mrow></mfrac><mfenced separators="|"><mrow><mtable><mtr><mtd><mn>1</mn></mtd><mtd><mi>i</mi></mtd></mtr><mtr><mtd><mi>i</mi></mtd><mtd><mn>1</mn></mtd></mtr></mtable></mrow></mfenced><mi mathvariant="normal">快</mi><mi mathvariant="normal">轴</mi><mi mathvariant="normal">呈</mi><mn>45</mn><mo>°</mo></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050554&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050565&type= 28.61733437 7.95866632 1/2波片（HW） <math id="M16"><mfenced separators="|"><mrow><mtable><mtr><mtd><mn>0</mn></mtd><mtd><mn>1</mn></mtd></mtr><mtr><mtd><mn>1</mn></mtd><mtd><mn>0</mn></mtd></mtr></mtable></mrow></mfenced><mi mathvariant="normal">快</mi><mi mathvariant="normal">轴</mi><mi mathvariant="normal">呈</mi><mn>45</mn><mo>°</mo></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050558&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050556&type= 22.86000061 7.28133297 偏振分光镜（PBS） <math id="M17"><mi mathvariant="normal">透</mi><mi mathvariant="normal">射</mi><mi mathvariant="normal">T</mi><mo>:</mo><mfenced separators="|"><mrow><mtable><mtr><mtd><mn>1</mn></mtd><mtd><mn>0</mn></mtd></mtr><mtr><mtd><mn>0</mn></mtd><mtd><mn>0</mn></mtd></mtr></mtable></mrow></mfenced></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050561&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050579&type= 18.88066673 7.28133297 <math id="M18"><mi mathvariant="normal">反</mi><mi mathvariant="normal">射</mi><mi mathvariant="normal">R</mi><mo>:</mo><mfenced separators="|"><mrow><mtable><mtr><mtd><mn>0</mn></mtd><mtd><mn>0</mn></mtd></mtr><mtr><mtd><mn>0</mn></mtd><mtd><mn>1</mn></mtd></mtr></mtable></mrow></mfenced></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050598&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050595&type= 18.96533203 7.28133297 偏振片（P） <math id="M19"><mfrac><mrow><mn>1</mn></mrow><mrow><mn>2</mn></mrow></mfrac><mfenced separators="|"><mrow><mtable><mtr><mtd><mn>1</mn></mtd><mtd><mn>1</mn></mtd></mtr><mtr><mtd><mn>1</mn></mtd><mtd><mn>1</mn></mtd></mtr></mtable></mrow></mfenced><mi mathvariant="normal">快</mi><mi mathvariant="normal">轴</mi><mi mathvariant="normal">呈</mi><mn>45</mn><mo>°</mo></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050601&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050600&type= 25.73866653 7.28133297 反射镜（M） <math id="M20"><mfenced separators="|"><mrow><mtable><mtr><mtd><mn>1</mn></mtd><mtd><mn>0</mn></mtd></mtr><mtr><mtd><mn>0</mn></mtd><mtd><mn>1</mn></mtd></mtr></mtable></mrow></mfenced></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050607&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050613&type= 9.14400005 7.28133297 测量光 l m1 和 l m2 的光矢量分别表示为： <math display="block" id="M21"><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mo>=</mo><msub><mrow><mi>A</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mi mathvariant="normal">e</mi><mi mathvariant="normal">x</mi><mi mathvariant="normal">p</mi><mi>i</mi><mo stretchy="false">(</mo><mn mathvariant="normal">2</mn><mi mathvariant="normal">π</mi><msub><mrow><mi>f</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mi>t</mi><mo>+</mo><msub><mrow><mi>φ</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mo stretchy="false">(</mo><mi>t</mi><mo stretchy="false">)</mo><mo stretchy="false">)</mo><mfenced separators="|"><mrow><mtable columnalign="left"><mtr><mtd><mn mathvariant="normal">0</mn></mtd></mtr><mtr><mtd><mn mathvariant="normal">1</mn></mtd></mtr></mtable></mrow></mfenced></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050631&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050639&type= 51.22333527 8.12800026 ， <math display="block" id="M22"><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">3</mn></mrow></msub><mo>=</mo><msub><mrow><mi>A</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">3</mn></mrow></msub><mi mathvariant="normal">e</mi><mi mathvariant="normal">x</mi><mi mathvariant="normal">p</mi><mi>i</mi><mo stretchy="false">(</mo><mn mathvariant="normal">2</mn><mi mathvariant="normal">π</mi><msub><mrow><mi>f</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">3</mn></mrow></msub><mi>t</mi><mo>+</mo><msub><mrow><mi>φ</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">3</mn></mrow></msub><mo stretchy="false">(</mo><mi>t</mi><mo stretchy="false">)</mo><mo stretchy="false">)</mo><mfenced separators="|"><mrow><mtable columnalign="left"><mtr><mtd><mn mathvariant="normal">0</mn></mtd></mtr><mtr><mtd><mn mathvariant="normal">1</mn></mtd></mtr></mtable></mrow></mfenced></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050637&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050642&type= 51.22333527 8.12800026 . 参考光 l r 到光电探测器PD1上的光矢量为： <math display="block" id="M23"><mtable columnalign="left"><mtr><mtd><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn><mo>-</mo><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">D</mi><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mo>=</mo><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">P</mi><mo stretchy="false">(</mo><mn mathvariant="normal">45</mn><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">B</mi><mi mathvariant="normal">S</mi><mo stretchy="false">(</mo><mi mathvariant="normal">T</mi><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">B</mi><mi mathvariant="normal">S</mi><mo stretchy="false">(</mo><mi mathvariant="normal">T</mi><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">Q</mi><mi mathvariant="normal">W</mi><mo stretchy="false">(</mo><mn mathvariant="normal">45</mn><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><mo>·</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">Q</mi><mi mathvariant="normal">W</mi><mo stretchy="false">(</mo><mn mathvariant="normal">45</mn><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">B</mi><mi mathvariant="normal">S</mi><mo stretchy="false">(</mo><mi mathvariant="normal">R</mi><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">Q</mi><mi mathvariant="normal">W</mi><mo stretchy="false">(</mo><mn mathvariant="normal">45</mn><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mo>.</mo></mtd></mtr></mtable></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050648&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050655&type= 49.86866760 8.38199997 测量光 l m1 到光电探测器PD1上的光矢量为： <math display="block" id="M24"><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn><mo>-</mo><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">D</mi><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mo>=</mo><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">P</mi><mo stretchy="false">(</mo><mn mathvariant="normal">45</mn><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">B</mi><mi mathvariant="normal">S</mi><mo stretchy="false">(</mo><mi mathvariant="normal">R</mi><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050663&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050660&type= 34.03599930 3.72533321 . 则光电探测器PD1上的干涉信号光强为： <math display="block" id="M25"><mtable columnalign="left"><mtr><mtd><msub><mrow><mi>I</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mo>=</mo><mo stretchy="false">(</mo><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn><mo>-</mo><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">D</mi><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mo>+</mo><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn><mo>-</mo><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">D</mi><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mo stretchy="false">)</mo><mo>·</mo><mover><mrow><mo stretchy="false">(</mo><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn><mo>-</mo><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">D</mi><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mo>+</mo><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn><mo>-</mo><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">D</mi><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mo stretchy="false">)</mo></mrow><mo>¯</mo></mover><mo>=</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mfrac><mrow><msup><mrow><msub><mrow><mi>A</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msup></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">4</mn></mrow></mfrac><mo>+</mo><mfrac><mrow><msup><mrow><msub><mrow><mi>A</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msup></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></mfrac><mo>-</mo><mfrac><mrow><mroot><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow><mrow/></mroot></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></mfrac><msub><mrow><mi>A</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><msub><mrow><mi>A</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mi mathvariant="normal">c</mi><mi mathvariant="normal">o</mi><mi mathvariant="normal">s</mi><mo stretchy="false">(</mo><mn mathvariant="normal">2</mn><mi mathvariant="normal">π</mi><mi mathvariant="normal">Δ</mi><msub><mrow><mi>f</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mi>t</mi><mo>+</mo><mi mathvariant="normal">Δ</mi><msub><mrow><mi>φ</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mo stretchy="false">)</mo><mo>,</mo></mtd></mtr></mtable></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050673&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050665&type= 70.10399628 14.73200035 其中：Δ f 1 = f 2 -f 1 ，大小为声光调制器AOM1和AOM2的频率差（20 MHz）；Δ φ 1 = φ 2 （t） -φ 1 （t），为外界扰动引起的相位波动量。参考光 l r 到光电探测器PD2上的光矢量为： <math display="block" id="M26"><mtable columnalign="left"><mtr><mtd><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn><mo>-</mo><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">D</mi><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mo>=</mo><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">P</mi><mo stretchy="false">(</mo><mn mathvariant="normal">45</mn><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">B</mi><mi mathvariant="normal">S</mi><mo stretchy="false">(</mo><mi mathvariant="normal">T</mi><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">H</mi><mi mathvariant="normal">W</mi><mo stretchy="false">(</mo><mn mathvariant="normal">45</mn><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">B</mi><mi mathvariant="normal">S</mi><mo stretchy="false">(</mo><mi mathvariant="normal">R</mi><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><mo>·</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">Q</mi><mi mathvariant="normal">W</mi><mo stretchy="false">(</mo><mn mathvariant="normal">45</mn><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">M</mi></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">Q</mi><mi mathvariant="normal">W</mi><mo stretchy="false">(</mo><mn mathvariant="normal">45</mn><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">B</mi><mi mathvariant="normal">S</mi><mo stretchy="false">(</mo><mi mathvariant="normal">T</mi><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">Q</mi><mi mathvariant="normal">W</mi><mo stretchy="false">(</mo><mn mathvariant="normal">45</mn><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><mo>.</mo></mtd></mtr></mtable></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050679&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050676&type= 49.86866760 8.38199997 测量光 l m2 到光电探测器PD2上的光矢量为： <math display="block" id="M27"><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">3</mn><mo>-</mo><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">D</mi><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mo>=</mo><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">P</mi><mo stretchy="false">(</mo><mn mathvariant="normal">45</mn><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">J</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">B</mi><mi mathvariant="normal">S</mi><mo stretchy="false">(</mo><mi mathvariant="normal">R</mi><mo stretchy="false">)</mo></mrow></msub><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">3</mn></mrow></msub></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050700&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050681&type= 34.03599930 3.72533321 . 则光电探测器PD2上的干涉信号光强为： <math display="block" id="M28"><mtable columnalign="left"><mtr><mtd><msub><mrow><mi>I</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mo>=</mo><mo stretchy="false">(</mo><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">3</mn><mo>-</mo><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">D</mi><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mo>+</mo><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn><mo>-</mo><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">D</mi><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mo stretchy="false">)</mo><mo>·</mo><mover><mrow><mo stretchy="false">(</mo><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">3</mn><mo>-</mo><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">D</mi><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mo>+</mo><msub><mrow><mi mathvariant="bold-italic">E</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn><mo>-</mo><mi mathvariant="normal">P</mi><mi mathvariant="normal">D</mi><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mo stretchy="false">)</mo></mrow><mo>¯</mo></mover><mo>=</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mfrac><mrow><msup><mrow><msub><mrow><mi>A</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msup></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">4</mn></mrow></mfrac><mo>+</mo><mfrac><mrow><msup><mrow><msub><mrow><mi>A</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">3</mn></mrow></msub></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msup></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></mfrac><mo>-</mo><mfrac><mrow><mroot><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow><mrow/></mroot></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></mfrac><msub><mrow><mi>A</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><msub><mrow><mi>A</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">3</mn></mrow></msub><mi mathvariant="normal">c</mi><mi mathvariant="normal">o</mi><mi mathvariant="normal">s</mi><mo stretchy="false">(</mo><mn mathvariant="normal">2</mn><mi mathvariant="normal">π</mi><mi mathvariant="normal">Δ</mi><msub><mrow><mi>f</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mi>t</mi><mo>+</mo><mi mathvariant="normal">Δ</mi><msub><mrow><mi>φ</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><mo stretchy="false">)</mo><mo>,</mo></mtd></mtr></mtable></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050694&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050701&type= 70.10399628 14.73200035 其中：Δ f 2 = f 3 -f 1 ，Δ φ 2 = φ 3 （ t ） -φ 1 （ t ）。 由此可见，PMI中两路相干信号的频率在20 MHz左右波动。将光强信号 I 1 和 I 2 分别与同一个标准的20 MHz光强信号作相位比较，计算出两路信号的相位波动量，该部分计算在相位测量板卡中实现，再将这两个相位波动量相减，从而求得两路测量光的相位差Δ φ = φ 3 （ t ） -φ 2 （ t ）。由于相位测量点位置与曝光点位置光路相似，该相位差近似于干涉图形的相位漂移值。 3 系统控制研究 1 3.1　系统控制框图 2 图4 图4 为条纹锁定控制系统对应的控制框图，控制原理为：PMI测量出干涉图形相位漂移量Δ φ ，将 φ PMI 与参考值 φ r （为0）相减后得到控制残余误差 φ e ，并反馈到控制器。控制器计算出频率调节量Δ f ，输出至频率合成器来修正干涉图形相位，从而实时锁定干涉条纹。控制器、频率合成器至相位测量干涉仪的传递函数分别表示为 G c （ s ）和 G s （ s ）。 对 式（1） 式（1） 做拉普拉斯变换可以得到如下的传递函数 G s （ s ）的表达式，其中， s 2 为拉普拉斯算子。 <math display="block" id="M29"><msub><mrow><mi>G</mi></mrow><mrow><mi>s</mi></mrow></msub><mo stretchy="false">(</mo><mi>s</mi><mo stretchy="false">)</mo><mo>=</mo><mfrac><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn><mi mathvariant="normal">π</mi></mrow><mrow><msup><mrow><mi>s</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msup></mrow></mfrac></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050722&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050712&type= 17.94933319 8.12800026 . 控制系统的理论模型由比例环节和积分环节构成，系统模型的伯德图如 图5 图5 所示。 3.2　控制系统模型辨识 2 受系统延迟和器件电子噪声的影响，控制系统的实际模型与理论模型存在差别，为了提高条纹锁定控制效果，需要对被控对象 G s （ s ）的实际模型设计有效的控制器。对光学系统施加一组正弦干扰信号，然后再结合输入输出分析三者之间的频率响应关系来辨识系统的模型，通过该方式得到了 G s （ s ）的实际传递函数，如 图5 图5 中蓝色线所示。辨识结果表明，系统实际模型存在幅值下降和相位延迟的现象。 为得到可用于控制的被控对象模型，对辨识结果进行高阶线性拟合，拟合模型如 图5 图5 中绿线所示，对应的传递函数为： <math display="block" id="M30"><msub><mrow><mi>G</mi></mrow><mrow><mi mathvariant="normal">s</mi><mo>-</mo><mi mathvariant="normal">f</mi><mi mathvariant="normal">i</mi><mi mathvariant="normal">t</mi></mrow></msub><mo stretchy="false">(</mo><mi>s</mi><mo stretchy="false">)</mo><mo>=</mo><mfrac><mrow><msub><mrow><mi>A</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><msup><mrow><mi>s</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">3</mn></mrow></msup><mo>+</mo><msub><mrow><mi>A</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><msup><mrow><mi>s</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msup><mo>+</mo><msub><mrow><mi>A</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">3</mn></mrow></msub><mi>s</mi><mo>+</mo><msub><mrow><mi>A</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">4</mn></mrow></msub></mrow><mrow><msub><mrow><mi>B</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">1</mn></mrow></msub><msup><mrow><mi>s</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">5</mn></mrow></msup><mo>+</mo><msub><mrow><mi>B</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msub><msup><mrow><mi>s</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">4</mn></mrow></msup><mo>+</mo><msub><mrow><mi>B</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">3</mn></mrow></msub><msup><mrow><mi>s</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">3</mn></mrow></msup><mo>+</mo><msub><mrow><mi>B</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">4</mn></mrow></msub><msup><mrow><mi>s</mi></mrow><mrow><mn mathvariant="normal">2</mn></mrow></msup></mrow></mfrac></math> http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050749&type= http://html.publish.founderss.cn/rc-pub/api/common/picture?pictureId=27050738&type= 57.23466873 9.31333351 ， 其中： A 1 = - 3.306×10 6 ， A 2 =4.199×10 10 ， A 3 =3.282×10 14 ， A 4 =2.854×10 14 ； B 1 =1， B 2 =9.47×10 5 ， B 3 =1.483×10 10 ， B 4 =5.269×10 13 。 3.3　PID控制器设计 2 目前，条纹锁定控制系统中最常用的控制方法是PID（Proporitonal-Integral-Derivative）控制，该方法简便实用。基于得到的拟合传递函数，在MATLAB的sisotool工具箱中设计控制器，控制器的设计需要满足以下几个设计需求：第一，为了抑制高频机械震动引起的模态激发导致相位偏移，系统的控制带宽要大于800 Hz；第二，为确保系统稳定性，幅值裕度不小于6 dB，相位裕度保持在30°~60°；第三，为了使系统具备较快的调节速度，系统的调整时间应小于3 ms。第四，为确保系统控制精度，系统灵敏度峰值应小于6 dB。 图6 图6 和 图7 图7 所示分别为在设计的控制器控制下的系统传递函数伯德图和阶跃响应。此时，幅值裕度为14.6 dB，相位裕度为49.8°，对应截止频率2 150 Hz（ - 3 dB），灵敏度峰值为3.98 dB，调整时间为1.3 ms（超调量≤±5%），均满足了设计指标。 4 实验与结果分析 1 4.1　系统实验装置 2 实验所用的激光器波长为355 nm，相位测量板卡有4个测量通道和1个参考通道，相位测量分辨率为2π/1 024。频率合成器为法国AA公司的DDSAPxx系列双通道频率合成器，频率调制范围为10~400 MHz，数字I/O板卡输出31位TTL控制信号对频率进行调节，频率调制精度达0.23 Hz。声光调制器为法国AA公司的产品，适用激光波长为325~425 nm，频率调制范围为110±15 MHz，衍射效率大于70%。利用一台780 nm波长的激光器产生的20 MHz拍频信号作为相位测量板卡的参考路信号。整个控制系统的伺服控制频率为5 000 Hz，即单个伺服周期为200 μs，根据 公式（1） 公式（1） 可以计算出系统相位调节的分辨率为0.000 3 rad。 图8 图8 所示为系统实验装置的光学器件和机械部件安装图，参考路和测量路的光路分别用红色和绿色线表示。 4.2　移频相位锁定控制实验 2 实验初始设置声光调制器AOM1的频率为120 MHz，AOM2和AOM3的频率为100 MHz，将参考光和测量光调至平行重合后，用PMI测得的干涉图形相位漂移量如 图9 图9 所示，左半部分所示前10 s为未开启条纹锁定状态，第10 s开启条纹锁定控制。结果显示，在未开启条纹闭环锁定控制时，干涉图形的相位变化表现为一种无规律的低频大幅度漂移，在10 s时间内，相位漂移幅度达4.6 rad，说明干涉图形的相位受环境波动影响很大。开启反馈闭环控制后，将PMI测量得到的相位漂移量转化为AOM3所需的频率调节量，对干涉图形的相位进行补偿调节；结果显示，干涉图形的相位被稳定锁住，相位锁定控制残余误差仅为±0.069 3 rad（3 σ ），即±0.01个干涉图形周期，指标接近MIT Nanoruler Ⅰ的控制精度水平 ［ 19 19 ］ ，证明该系统可实现干涉条纹的实时锁定。 为了分析相位扰动中各频率成份，对开环以及闭环时相位测量值做幅值频谱分析，如 图10 图10 所示。分析表明，开环状态下，干涉图形的相位漂移呈现低频特性，在100 Hz~900 Hz频段有明显的高频扰动成分；开启闭环锁定控制后，100 Hz以下的低频相位漂移被极大地抑制了，对100 Hz~900 Hz频段的扰动有一定程度的抑制效果，相位漂移表现为高频特性。说明开启条纹锁定能显著抑制低频环境扰动引起的干涉图形相位漂移，但对高频扰动没有起到显著地抑制效果。 4.3　光束偏移调节误差裕度测量实验 2 系统通过PSD保证参考光和测量光的调节偏移量满足 公式（8） 公式（8） ，但受限于PSD的测量精度，光束的偏移量实际上无法做到完全一致，光束的分离将导致干涉信号信噪比下降，影响干涉条纹相位锁定效果。为了测试光束偏移误差的裕度，开展了光束平移分离条纹锁定实验。 实验中保持参考光和第一路测量光不动，然后通过调节万向镜GM2使第二路测量光往一个方向不断发生偏移，每次偏移量约为20 μm，连续偏移5次，干涉图形相位的实时锁定实验结果如 图11 图11 所示。实验结果显示，在闭环锁定下，万向镜转动引起的光程变化将导致干涉图形相位发生剧烈变化，这是由于光程变化过快而相位补偿速度无法跟上导致的，但在转动结束后能迅速将干涉条纹重新锁住，相位锁定残余误差无明显变化，当参考光和测量光产生100 μm分离时，相位锁定系统依旧维持正常工作。证明了该系统具有较大的光束偏移调节误差裕度。 5 结　论 1 为了实现扫描干涉光刻中干涉图形周期和方向实时调节以及条纹锁定，本文设计了一种在实时调整光束位姿的情况下保持恒定相干光强的条纹锁定控制系统。实验结果显示，该系统可实现干涉图形相位的高速高精锁定，相位锁定残余误差在±0.069 3 rad（3 σ ），有效抑制了环境扰动造成的低频相位漂移，光束偏移调节误差达100 μm时，系统依旧能维持高精度条纹锁定。 该系统目前实现了光束位姿调节前后的条纹锁定，但在调节过程中存在相位跳变，这是由于万向镜转速过快、转动不同步以及系统调控速度过低导致的。高频相位扰动主要由光学系统微振动导致，受限于系统噪声、延迟、控制器件性能，系统高频相位扰动难以完全控制，但目前已取得较好的控制结果，后续将从机械结构模态、控制硬件和控制算法等方面进行进一步的系统优化以实现更高的控制精度。之后还将开展在变姿态调节过程中实时锁定干涉条纹的研究，以期实现干涉条纹周期、方向和相位同步实时控制的扫描干涉光刻机的研制。 参考文献 CASTENMILLER T ， DE MAST FVAN ， DE KORT T ， et al . Towards ultimate optical lithography with NXT： 1950i dual stage immersion platform ［C］. Optical Microlithography XXIII. San Jose ， California. SPIE ， 2010 ： 7640 ： 76401N . doi: 10.1117/12.847025 http://dx.doi.org/10.1117/12.847025 Towards ultimate optical lithography with NXT： 1950i dual stage immersion platform DE JONG F ， PASCH BVAN DER ， CASTENMILLER T ， et al . Enabling the lithography roadmap： an immersion tool based on a novel stage positioning system ［C］. Optical Microlithography XXII. San Jose ， California， USA. SPIE ， 2009 ： 7274 ： 72741S . doi: 10.1117/12.814254 http://dx.doi.org/10.1117/12.814254 Enabling the lithography roadmap： an immersion tool based on a novel stage positioning system HABARA H ， XU G ， JITSUNO T ， et al . Pulse compression and beam focusing with segmented diffraction gratings in a high-power chirped-pulse amplification glass laser system ［J］. Optics Letters ， 2010 ， 35 （ 11 ）： 1783 . doi: 10.1364/ol.35.001783 http://dx.doi.org/10.1364/ol.35.001783 Pulse compression and beam focusing with segmented diffraction gratings in a high-power chirped-pulse amplification glass laser system JITSUNO T ， MOTOKOSHI S ， OKAMOTO T ， et al . Development of 91 cm size gratings and mirrors for LEFX laser system ［J］. Journal of Physics： Conference Series ， 2008 ， 112 （ 3 ）： 032002 . doi: 10.1088/1742-6596/112/3/032002 http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/112/3/032002 Development of 91 cm size gratings and mirrors for LEFX laser system THOMAS P . Design and Analysis of a Scanning Beam Interference Lithography System for Patterning Gratings with Nanometer-level Distortion s ［D］. Massachusetts Institute of Technology ， 2003 . Design and Analysis of a Scanning Beam Interference Lithography System for Patterning Gratings with Nanometer-level Distortions GANG C . Beam Alignment and Image Metrology for Scanning Beam Interference Lithography ： Fabricating Gratings with Nanometer Phase Accuracy ［D］. Cambridge ： Massachusetts Institute of Technology ， 2003 . Beam Alignment and Image Metrology for Scanning Beam Interference Lithography： Fabricating Gratings with Nanometer Phase Accuracy MONTOYA J . Toward Nano-accuracy in Scanning Beam Interference Lithography ［D］. Cambridge ： Massachusetts Institute of Technology ， 2006 . Toward Nano-accuracy in Scanning Beam Interference Lithography CHANG C H . Multilevel Interference Lithography-fabricating Sub-wavelength Periodic Nanostructures ［D］. Cambridge ： Massachusetts Institute of Technology ， 2008 . Multilevel Interference Lithography-fabricating Sub-wavelength Periodic Nanostructures PATI G S ， HEILMANN R K ， KONKOLA P T ， et al . Generalized scanning beam interference lithography system for patterning gratings with variable period progressions ［J］. Journal of Vacuum Science & Technology B： Microelectronics and Nanometer Structures ， 2002 ， 20 （ 6 ）： 2617 . doi: 10.1116/1.1520563 http://dx.doi.org/10.1116/1.1520563 Generalized scanning beam interference lithography system for patterning gratings with variable period progressions SCHATTENBURG M ， CHANG C ， HEILMANN R ， et al . Advanced interference lithography for nanomanufacturing ［J］. Proceedings of International Symposium on Nanomanufacturing ， 2006 ， 44 . Advanced interference lithography for nanomanufacturing MA D H ， ZENG L J . Fabrication of low-stray-light gratings by broad-beam scanning exposure in the direction perpendicular to the grating grooves ［J］. Optics Letters ， 2015 ， 40 （ 7 ）： 1346 . doi: 10.1364/ol.40.001346 http://dx.doi.org/10.1364/ol.40.001346 Fabrication of low-stray-light gratings by broad-beam scanning exposure in the direction perpendicular to the grating grooves 王磊杰 ， 张鸣 ， 鲁森 ， 等 . 零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制 ［J］. 光学 精密工程 ， 2017 ， 25 （ 5 ）： 1213 - 1221 . doi: 10.3788/ope.20172505.1213 http://dx.doi.org/10.3788/ope.20172505.1213 零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制 WANG L J ， ZHANG M ， LU S ， et al . Ultra-precision control of homodyne frequency-shifting interference pattern phase locking system ［J］. Opt. Precision Eng. ， 2017 ， 25 （ 5 ）： 1213 - 1221 . （in Chinese） . doi: 10.3788/ope.20172505.1213 http://dx.doi.org/10.3788/ope.20172505.1213 Ultra-precision control of homodyne frequency-shifting interference pattern phase locking system 刘兆武 . 扫描干涉场曝光系统中光栅衍射波前控制方法研究 ［D］. 北京 ： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 ， 2017 . doi: 10.26464/epp2018011 http://dx.doi.org/10.26464/epp2018011 扫描干涉场曝光系统中光栅衍射波前控制方法研究 LIU Z W . Study on Wavefront Control of Grating Diffraction on Scanning Beam Interference Lithography System ［D］. Beijing ： Institute of Physics， Chinese Academy of Sciences ， 2017 . （in Chinese） . doi: 10.26464/epp2018011 http://dx.doi.org/10.26464/epp2018011 Study on Wavefront Control of Grating Diffraction on Scanning Beam Interference Lithography System 李民康 ， 向显嵩 ， 周常河 ， 等 . 基于超精密激光直写系统制作二维光栅 ［J］. 光学学报 ， 2019 ， 39 （ 9 ）： 0905001 . doi: 10.3788/aos201939.0905001 http://dx.doi.org/10.3788/aos201939.0905001 基于超精密激光直写系统制作二维光栅 LI M K ， XIANG X S ， ZHOU C H ， et al . Two-dimensional grating fabrication based on ultra-precision laser direct writing system ［J］. Acta Optica Sinica ， 2019 ， 39 （ 9 ）： 0905001 . （in Chinese） . doi: 10.3788/aos201939.0905001 http://dx.doi.org/10.3788/aos201939.0905001 Two-dimensional grating fabrication based on ultra-precision laser direct writing system 王磊杰 ， 张鸣 ， 朱煜 . 单体大尺寸高精度全息光栅制造技术综述 ［J］. 光学 精密工程 ， 2021 ， 29 （ 8 ）： 1759 - 1768 . doi: 10.37188/OPE.20212908.1759 http://dx.doi.org/10.37188/OPE.20212908.1759 单体大尺寸高精度全息光栅制造技术综述 WANG L J ， ZHANG M ， ZHU Y . Review of monomeric large-size and high precision holographic planar grating manufacturing technology ［J］. Opt. Precision Eng. ， 2021 ， 29 （ 8 ）： 1759 - 1768 . （in Chinese） . doi: 10.37188/OPE.20212908.1759 http://dx.doi.org/10.37188/OPE.20212908.1759 Review of monomeric large-size and high precision holographic planar grating manufacturing technology YOUNG P P ， PRIAMBODO P S ， MALDONADO T A ， et al . Simple interferometric fringe stabilization by charge-coupled-device-based feedback control ［J］. Applied Optics ， 2006 ， 45 （ 19 ）： 4563 . doi: 10.1364/ao.45.004563 http://dx.doi.org/10.1364/ao.45.004563 Simple interferometric fringe stabilization by charge-coupled-device-based feedback control OTT D B ， DIVLIANSKY I B ， SEGALL M A ， et al . Stabilization system for holographic recording of volume Bragg gratings using a corner cube retroreflector ［J］. Applied Optics ， 2014 ， 53 （ 6 ）： 1039 - 1046 . doi: 10.1364/ao.53.001039 http://dx.doi.org/10.1364/ao.53.001039 Stabilization system for holographic recording of volume Bragg gratings using a corner cube retroreflector SCHATTENBURG M L ， CHEN C G ， HEILMANN R K ， et al . Progress toward a general grating patterning technology using phase-locked scanning beams ［C］. Optical Spectroscopic Techniques， Remote Sensing， and Instrumentation for Atmospheric and Space Research IV "， " SPIE Proceedings . San Diego ， CA. SPIE ， 2002 ： 4485 ： 378 - 384 . doi: 10.1117/12.454273 http://dx.doi.org/10.1117/12.454273 Progress toward a general grating patterning technology using phase-locked scanning beams HEILMANN R K ， KONKOLA P T ， CHEN C G ， et al . Digital heterodyne interference fringe control system ［J］. Journal of Vacuum Science & Technology B： Microelectronics and Nanometer Structures ， 2001 ， 19 （ 6 ）： 2342 . doi: 10.1116/1.1410096 http://dx.doi.org/10.1116/1.1410096 Digital heterodyne interference fringe control system CARTER J M ， FLEMING R C ， SAVAS T A ， et al .. Interference lithography ［J］. MTL Annual report ， 2003 ， 2003 ： 186 - 188 . Interference lithography 10.37188/OPE.20223008.0938 TH741 A 1004-924X（2022）08-0938-10 王磊杰,罗伟文,张鸣等.恒光强扫描干涉光刻条纹锁定系统设计[J].光学精密工程,2022,30(08):938-947. 王磊杰,罗伟文,张鸣等.恒光强扫描干涉光刻条纹锁定系统设计[J].光学精密工程,2022,30(08):938-947. WANG Leijie,LUO Weiwen,ZHANG Ming,et al.Design on constant coherent light intensity fringe locking system for scanning beam interference lithography[J].Optics and Precision Engineering,2022,30(08):938-947. WANG Leijie,LUO Weiwen,ZHANG Ming,et al.Design on constant coherent light intensity fringe locking system for scanning beam interference lithography[J].Optics and Precision Engineering,2022,30(08):938-947. 02国家重大科技专项资助项目（No.2018ZX02101003） 2021-08-25 2021-10-11 2022-04-25 2022-04-26 光学精密工程 8 30