Preparation of EUV Filter at 17.1 nm

NIU Xiaoqian; MIAO Pengfei; WANG Hanlin; WANG Xiaodong; CHEN Bo

doi:10.37188/OPE.20233102.0141

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Preparation of EUV Filter at 17.1 nm

Modern Applied Optics | 更新时间：2023-02-08

- Preparation of EUV Filter at 17.1 nm
- Optics and Precision Engineering Vol. 31, Issue 2, Pages: 141-149(2023)
- 作者机构：
  
  1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春 130031
  2.中国科学院大学，北京 100190
  3.上海卫星工程研究所，上海 200240
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.37188/OPE.20233102.0141
  CLC： O484.4
- Received：11 May 2022，
  
  Revised：07 June 2022，
  
  Published：25 January 2023
- 稿件说明：
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牛筱茜,缪鹏飞,王瀚林等.17.1 nm极紫外滤光片的制备[J].光学精密工程,2023,31(02):141-149.

NIU Xiaoqian,MIAO Pengfei,WANG Hanlin,et al.Preparation of EUV Filter at 17.1 nm[J].Optics and Precision Engineering,2023,31(02):141-149.
牛筱茜,缪鹏飞,王瀚林等.17.1 nm极紫外滤光片的制备[J].光学精密工程,2023,31(02):141-149. DOI： 10.37188/OPE.20233102.0141.

NIU Xiaoqian,MIAO Pengfei,WANG Hanlin,et al.Preparation of EUV Filter at 17.1 nm[J].Optics and Precision Engineering,2023,31(02):141-149. DOI： 10.37188/OPE.20233102.0141.

摘要

为了预警空间天气，需对日地空间物理过程进行监测，极紫外（Extreme Ultraviolet， EUV）滤光片是极紫外成像仪其中的重要组成部分，用来去除太阳辐射光谱中的非工作波段的辐射。为了优化EUV滤光片在17.1 nm波长处的透过率，本文基于比尔-朗伯定律通过理论计算和软件模拟确定17.1 nm EUV滤光片的材料及厚度。首先，采用真空热蒸发的方式在熔石英基底沉积脱膜层和金属薄膜，成功制备了以镍网为支撑的EUV滤光片。经测试，滤光片在17.1 nm处的透过率约为43.81%，表面光滑平整且无明显针孔。接下来为了说明氧化层对透过率的影响，使用椭圆偏振光谱仪测量滤光膜样品，得到放置不同时间的氧化层膜厚，并测得粗糙度来优化模拟滤光片透过率。利用IMD拟合样品氧化层厚度及粗糙度，调整层厚达到与实际测量值最为接近的曲线。实验结果表明滤光片透过率的模拟值与测量值绝对误差约1%，符合良好。本文为17.1 nm EUV滤光片提供了制备方法以及优化思路，在空间探测领域有重要应用价值。

Abstract

In order to forecast and warn of space weather， the disturbances of solar-terrestrial need to be monitored. Extreme Ultraviolet （EUV） filters can remove unwanted radiation， and they are an important part of the Extreme Ultraviolet Imager. In order to optimize the transmission of EUV filters at 17.1nm， we chosen the material and thickness of EUV filters at 17.1 nm based on the Lambert-Beer law by theoretical calculation and software simulation. First， the release layer and metal thin-film were deposited by thermal evaporation， and EUV filters with nickel-mesh supported were successfully manufactured. After testing， the transmission of the filter whose surface is smooth and flat without obvious pinholes is about 43.81% at 17.1 nm. Next， in order to illustrate the effect of the oxide layer on the transmittance， the filter sample was measured by spectroscopic ellipsometry to obtain the thickness of the oxide layer at different placement times， and the roughness was measured to optimize and simulate the transmission of the filter. The thickness of the oxide layer and the roughness of the sample were fitted by IMD， and the layer thickness was adjusted to achieve the curve closest to the actual measured value. Experimental results indicate an excellent agreement between the measured and simulated values， and the absolute error of the transmittance of the EUV filter is only 1%. This study provides preparation methods and improvement ideas for EUV filters， and has important practical significance in space exploration.

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