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Study of a consistent assembly system for AFM probes based on beam deflection method
Modern Applied Optics | 更新时间：2024-02-01
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    • Study of a consistent assembly system for AFM probes based on beam deflection method

    • “科技新闻播报：一项针对原子力显微镜（AFM）系统的创新研究取得突破。该研究通过精密控制探针与探针夹装配位置，实现了更换探针后与原光路位置的一致性，省去了繁琐的光路调整步骤。这一系统采用光束偏转法监测探针位置与偏转，并利用高精度位移与角度调节平台进行精确调整。实验验证显示，装配的探针平均位置精度接近1.1µm，更换一致性探针仅需8秒。这一成果不仅简化了AFM系统重新校准光路的操作，而且为工业计量型AFM的操作与测量性能提升奠定了坚实基础。这一创新研究为AFM领域的发展开辟了新的方向，有望推动相关技术的进步与应用拓展。”
      ”
    • Optics and Precision Engineering   Vol. 32, Issue 2, Pages: 137-147(2024)

    • DOI：10.37188/OPE.20243202.0137    

      CLC： TH73

    • Published：25 January 2024，

      Received：10 May 2023，

      Revised：04 July 2023，

    扫 描 看 全 文

  • ZHANG Baoliang,LIANG Wenfeng,YANG Tie,et al.Study of a consistent assembly system for AFM probes based on beam deflection method[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(02):137-147. DOI： 10.37188/OPE.20243202.0137.

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