Deflectometric measurement technology for optical surfaces: principles, challenges, and prospects(invited)

ZHANG Xiangchao ,  

NIU Xingman ,  

HAO Siyuan ,  

LANG Wei ,  

LI Pingfeng ,  

LIU Ruiyang ,  

ZHANG Zonghua ,  

摘要

Debido a su sencillo sistema de medición, su gran rango dinámico y su alta resistencia a las interferencias, la técnica de desviación tiene ventajas únicas en la medición de la forma y los defectos de las superficies ópticas complejas. Sin embargo, la medición de desviación es compleja, hay muchos factores de influencia y una larga cadena de transmisión de datos, lo que limita seriamente su aplicación en la práctica tecnológica. Con este fin, el artículo presenta el principio de funcionamiento y evolución de la técnica de desviación, enumera los principales pasos de medición, incluido el diseño estructural, la calibración del sistema, la codificación y la correspondencia material y la reconstrucción integral. Se analizan varios factores clave que afectan la precisión de la medición, incluida la simplificación del modelo de cámara, las ambigüedades en la altura-pendiente, la medición de la posición-ángulo y la indeterminación de la reconstrucción integral. A continuación, se presentan los principales campos de aplicación de la técnica de desviación y las tendencias futuras, lo que ayudará a los investigadores en el campo de las mediciones de precisión y a los estudiantes de posgrado a dominar los métodos de medición de desviación, a identificar las principales formas de aumentar la precisión de la medición de desviación, a promover el progreso tecnológico y el desarrollo de la industria de precisión y manufactura avanzada en China.

关键词

precision measurement;deflectometry;optical surface;error analysis;defect detection

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