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四质量高频三轴MEMS陀螺设计及制造
更新时间：2025-05-30

    • 四质量高频三轴MEMS陀螺设计及制造

    • Design and Fabrication of a Quad-Mass High-Frequency Triaxial MEMS Gyroscope

    • “报道：最新研究突破，四质量高频三轴MEMS陀螺问世，尺寸仅3mm×2.56mm，谐振频率高达30kHz，为高频三轴MEMS陀螺研制提供新方案。”
    • 光学精密工程   2025年 页码：1-12
    • 中图分类号： TH703;TP212

    • 收稿日期：2025-03-04，

      修回日期：2025-03-25，

      网络出版日期：2025-05-30，

    移动端阅览

  • 魏雯强,田慧敏,蔡麒等.四质量高频三轴MEMS陀螺设计及制造[J].光学精密工程, DOI：10.37188/OPE.XXXXXXXX.0001 CSTR：32169.14.OPE

    WEI Wenqiang,TIAN Huimin,CAI Qi,et al.Design and Fabrication of a Quad-Mass High-Frequency Triaxial MEMS Gyroscope[J].Optics and Precision Engineering, DOI：10.37188/OPE.XXXXXXXX.0001 CSTR：32169.14.OPE

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