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网络出版日期:1975-04-15,
纸质出版日期:1975-04-15
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. 全息薄膜分析器[J]. 光学精密工程, 1975,(2): 44-47
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1975,(2): 44-47
. 全息薄膜分析器[J]. 光学精密工程, 1975,(2): 44-47 DOI:
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1975,(2): 44-47 DOI:
本文介绍一种分析和测量薄膜的系统
在薄膜上激光的光输出分裂成两个光束
第一个光束集中照明摄影胶片的全区
而第二个光束准直后通过摄影胶片较小部分射到观察膜的样品上。样品的表面是相对于垂直第二光束的平面稍上倾斜
这样从样品反射出来的光线回到摄影胶片上时所达到的区域与第二光束最初通过它时的不同。通过材料沉积在样品表面上的期间内作两次相继曝光
在摄影胶片上录下全息图。然后把胶片显影
则干涉线条给出在曝光之间薄膜或沉积的材料的测量。
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