. 集成光学用的薄有机硅膜[J]. 光学精密工程, 1975,(6): 30-36

. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1975,(6): 30-36

. 集成光学用的薄有机硅膜[J]. 光学精密工程, 1975,(6): 30-36 DOI：

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