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网络出版日期:1976-02-15,
纸质出版日期:1976-02-15
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. 一个有效的测试设备——装有电视及示波器的平面测量干涉仪[J]. 光学精密工程, 1976,(1): 67-67
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1976,(1): 67-67
. 一个有效的测试设备——装有电视及示波器的平面测量干涉仪[J]. 光学精密工程, 1976,(1): 67-67 DOI:
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1976,(1): 67-67 DOI:
采用牛顿环测量光学平面件
是一个通用的古老的测量方法
然而如果在一台平面干涉仪上装有电视显示器及示波器
这就优越的多了
在一般情况下
其测量精度可达1/10个光圈
或1/20个波长.
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