检验光学表面和透镜的数字波前测量干涉仪

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检验光学表面和透镜的数字波前测量干涉仪

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 检验光学表面和透镜的数字波前测量干涉仪
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- 光学精密工程 1976年0卷第4期页码：31-42
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- 网络出版日期：1976-08-15，
  
  纸质出版日期：1976-08-15
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. 检验光学表面和透镜的数字波前测量干涉仪[J]. 光学精密工程, 1976,(4): 31-42

. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1976,(4): 31-42
. 检验光学表面和透镜的数字波前测量干涉仪[J]. 光学精密工程, 1976,(4): 31-42 DOI：

. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1976,(4): 31-42 DOI：

摘要用自扫描1024单元光电二极管阵列和小型计算机测量干涉仪干涉图形的相位(波前)测到λ/100.通过压电晶体改变参考臂长

在干涉图形中32×32矩阵排列的光电二极管阵列采样光强.应用这些数据通过傅里叶级数方法小型计算机同步探测每1024个点的相位并把波前的等高图和透视图在少于1分钟内显示在存储示波器上.阵列的光强是以随机形式多次采样并取平均值

使大气抖动

振动和热流效应最小.很重要的是容易测定干涉仪的波前误差并且从当时的或以后的波前处理中自动相减.支持测量系统的各个程序包括确定孔径边界

波前总和和区分

倾斜相聚焦误差的消去或引入以及波前空间操作程序等软件.快速傅里叶变换程序把波前数据转换成点扩散函数以及透镜的光学传递函数的模和相位.显示程序以等高图和透视图形式绘制这些函数.已设计这个系统使收集数据最佳化并得出比测量单个元件和测量衍射极限光学系统性能的通常准度更高

更进一步

由于循环操作只需要暂短几分钟的时间使该系统成为光学车间取代样板施加的限制更有吸引力.

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