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网络出版日期:1975-04-15,
纸质出版日期:1975-04-15
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. 光学膜厚度的监视器[J]. 光学精密工程, 1975,(2): 48-51
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1975,(2): 48-51
. 光学膜厚度的监视器[J]. 光学精密工程, 1975,(2): 48-51 DOI:
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1975,(2): 48-51 DOI:
该仪器系用不同波长的两条光束
测量基片上薄膜的光学厚度。这两条光束被斩波成一系列的时间变换脉冲
经过薄膜和基片并被检波以提供电脉冲输出。之后
脉冲相减
其差被平均。光学薄膜的厚度如果是两条光束的平均波长的1/4波长的整倍数
则平均为零。
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