李懋廉, 施评治. 一氧化硅薄膜剩余应力的退火[J]. 光学精密工程, 1979,(1): 32-33

. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1979,(1): 32-33

李懋廉, 施评治. 一氧化硅薄膜剩余应力的退火[J]. 光学精密工程, 1979,(1): 32-33 DOI：

. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1979,(1): 32-33 DOI：