测量薄膜光学参数d的工作报告

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测量薄膜光学参数d的工作报告

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 测量薄膜光学参数d的工作报告
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- 光学精密工程 1979年0卷第4期页码：17-21
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  中图分类号：
- 网络出版日期：1979-08-15，
  
  纸质出版日期：1979-08-15
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于和平, 李剑白. 象质判据[J]. 光学精密工程, 1979,(4): 45-53

. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1979,(4): 45-53
于和平, 李剑白. 象质判据[J]. 光学精密工程, 1979,(4): 45-53 DOI：

. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1979,(4): 45-53 DOI：

摘要

一、工作原理: 图1是仪器的光路图。本仪器分成干涉仪和单色仪两部分。前者包括照明系统

干涉仪主体以及成象系统。后者则由狭缝、物镜L

3

L

4

分光棱镜以及显微镜组成。

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