杨厚民. 利用锁相技术控制光栅刻划机[J]. 光学精密工程, 1980,(4): 14-19

. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1980,(4): 14-19

杨厚民. 利用锁相技术控制光栅刻划机[J]. 光学精密工程, 1980,(4): 14-19 DOI：

. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1980,(4): 14-19 DOI：