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网络出版日期:1982-08-15,
纸质出版日期:1982-08-15
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李剑白, 陈月祥. 角度传感器光学系统设计的一些问题及干涉莫尔条纹的形成[J]. 光学精密工程, 1982,(4): 5-9
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1982,(4): 5-9
李剑白, 陈月祥. 角度传感器光学系统设计的一些问题及干涉莫尔条纹的形成[J]. 光学精密工程, 1982,(4): 5-9 DOI:
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1982,(4): 5-9 DOI:
近代高精度光学角度传感器采用增量式的日益增多
其主要元件为光栅盘。为了提高测量精度
消除轴系偏心误差
光学角度传感器过去常采用对边成象方法。由于成象要求清晰
光栅条纹又密
一般在25~100对/毫米之间
所以对成象光学系统质量要求很高
一般相对孔径都在 F/4以上
轴上轴外的象差均小于0.01毫米。
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