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网络出版日期:1983-06-15,
纸质出版日期:1983-06-15
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李懋廉, 杨厚民, 连厚明, 朱秀芳. 日本EBV—6DA型镀膜机及其安装调试[J]. 光学精密工程, 1983,(3): 59-66
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1983,(3): 59-66
李懋廉, 杨厚民, 连厚明, 朱秀芳. 日本EBV—6DA型镀膜机及其安装调试[J]. 光学精密工程, 1983,(3): 59-66 DOI:
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1983,(3): 59-66 DOI:
日本EBV-6DA型镀膜机是光学镀膜专用的现代化镀膜机。它采用了全自动程序控制的抽气系统;膜厚及速率自动控制系统;剩余气体质谱分析系统等先进技术和一系列安全保护系统。1979年我所进口了一台
经过一年多的装调已正常运转。本文概述此镀膜机的特点及其装调过程。
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