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网络出版日期:1983-06-15,
纸质出版日期:1983-06-15
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马天驰. 薄膜结构的X射线研究[J]. 光学精密工程, 1983,(3): 1-14
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1983,(3): 1-14
马天驰. 薄膜结构的X射线研究[J]. 光学精密工程, 1983,(3): 1-14 DOI:
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1983,(3): 1-14 DOI:
近十多年来
薄膜技术在半导体、计算机、磁学、光学、低温超导和精密机械等各方面的应用取得长足的迸展。为了更好地掌握工艺与性能的关系
人们对薄膜的结构问题更加关注了。所谓薄膜结构通常是指:薄膜中各种相的定性定量、晶粒尺寸与晶格畸变、择尤取向、宏观残余应力以及各种晶体结构的不完整性(层错、孪晶)等等;对单晶膜则有点阵错配和衍射谱型的分析;对无定形膜则用径向分布函数来测定局部的原子排列。因为成分与结构有密切的关系
所以常常把杂质含量、晶界偏析、浓度梯度等也包括在内。
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