戴靖东. 超大规模集成电路微细加工精密工作台驱动机构的动力学计算[J]. 光学精密工程, 1984,(1): 40-48

. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1984,(1): 40-48

戴靖东. 超大规模集成电路微细加工精密工作台驱动机构的动力学计算[J]. 光学精密工程, 1984,(1): 40-48 DOI：

. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1984,(1): 40-48 DOI：