王哲, 何静富. RF平面磁控溅射技术制备ZnO膜[J]. 光学精密工程, 1985,(2): 39-42

. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1985,(2): 39-42

王哲, 何静富. RF平面磁控溅射技术制备ZnO膜[J]. 光学精密工程, 1985,(2): 39-42 DOI：

. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1985,(2): 39-42 DOI：