用金刚石刀超精车削光学非球面镜

王秀文; 张长贵; 马文生

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用金刚石刀超精车削光学非球面镜

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 用金刚石刀超精车削光学非球面镜
- Ultraprecison Turning Aspherical Optical Reflectors with Diamond Tools
- 光学精密工程 1986年0卷第2期页码：29-38
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  中图分类号：
- 网络出版日期：1986-04-15，
  
  纸质出版日期：1986-04-15
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王秀文, 张长贵, 马文生. 用金刚石刀超精车削光学非球面镜[J]. 光学精密工程, 1986,(2): 29-38

Wang Xiuwen, Zhang Changgui, Ma Wensheng. Ultraprecison Turning Aspherical Optical Reflectors with Diamond Tools[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1986,(2): 29-38
王秀文, 张长贵, 马文生. 用金刚石刀超精车削光学非球面镜[J]. 光学精密工程, 1986,(2): 29-38 DOI：

Wang Xiuwen, Zhang Changgui, Ma Wensheng. Ultraprecison Turning Aspherical Optical Reflectors with Diamond Tools[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1986,(2): 29-38 DOI：

摘要

文章介绍了用金刚石刀超精车削光学非球面镜的方法。分析了在超精车削中影响镜头表面光洁度和圆度、面形精度的因素

其中介绍了机床主轴的非同步误差对表面光洁度的影响

并系统分析产生非同步误差运动的原因和降低非同步误差值的方法;为消除工件装卡变形对加工镜头精度的影响

加工中采用逐点趋近法分步消除工件的装卡变形

从而达到镜头圆度为0.35μm的高精度。

Abstract

This paper describes the way of ultrapreciso turning aspherical optical reflectors with diamond tools and analyzes the factors whih influence surface finish of mirrors

circulity and figure accurancy. This paper also introduces the influence of machine spindle asynchronous error on surface finish and analyzes the reason for producing asynchronous error motion and the method of reducing asynchronous error value systematically. In order to get rid of the influence of workpiece chucking distortion on machining accuracy of mirror

we used an approaching method from poiat to point to get rid of workpiece chucking distortion step by step4

so that the clrculity of mirror achieved were 0.3μm in machining.

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