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网络出版日期:1980-08-15,
纸质出版日期:1980-08-15
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孙景椿, 杨厚民. 平面镀铝衍射光栅的检验[J]. 光学精密工程, 1980,(4): 20-29
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1980,(4): 20-29
孙景椿, 杨厚民. 平面镀铝衍射光栅的检验[J]. 光学精密工程, 1980,(4): 20-29 DOI:
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1980,(4): 20-29 DOI:
一、光栅的干涉检验光栅干涉检验
实际上是最简单和最能显示光栅刻划质量的检验方法.因此
光栅刻出后
首先进行干涉检验.
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