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网络出版日期:1984-02-15,
纸质出版日期:1984-02-15
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邹振书. 干涉测量法的最近展况——根据斋藤弘义教授讲学记录整理[J]. 光学精密工程, 1984,(1): 58-64
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1984,(1): 58-64
邹振书. 干涉测量法的最近展况——根据斋藤弘义教授讲学记录整理[J]. 光学精密工程, 1984,(1): 58-64 DOI:
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1984,(1): 58-64 DOI:
一、序干涉测量法是把光的波长做为一把尺子
用来测量长度、厚度、面形误差等的一种测量技术.这种技术在很早以前就已被广泛地利用在测量中.1960年激光的出现给干涉测量技术带来了根本性的变化.激光具有足够的时间相干和空间相干
可提高干涉条纹的对比度
避免用扩展光源给测量中带来的操作上的麻烦
使得一般人都可以利用干涉法进行测量.
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