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网络出版日期:1985-04-15,
纸质出版日期:1985-04-15
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王景山, 姚秀兰. 用立体电子显微术法测超光滑表面的微小形貌[J]. 光学精密工程, 1985,(2): 21-26
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1985,(2): 21-26
王景山, 姚秀兰. 用立体电子显微术法测超光滑表面的微小形貌[J]. 光学精密工程, 1985,(2): 21-26 DOI:
. [J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1985,(2): 21-26 DOI:
随着科学技术的迅速发展
近几十年来
工业、国防以及科学实验对超光滑表面的需求日益增加。所谓超光滑表面是指表面的高度起伏(与平均平面之差)为零点几个nm到几个nm。
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