铝膜厚度对刻划衍射光栅闪耀效率的影响

张庆英; 刘桂琴

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铝膜厚度对刻划衍射光栅闪耀效率的影响

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 铝膜厚度对刻划衍射光栅闪耀效率的影响
- The Influences of Aluminum Film Thickness on the Blazed Efficiencies of Ruling Diffraction Gratings
- 光学精密工程 1987年0卷第6期页码：1-8
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  中图分类号：
- 网络出版日期：1987-12-15，
  
  纸质出版日期：1987-12-15
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张庆英, 刘桂琴. 铝膜厚度对刻划衍射光栅闪耀效率的影响[J]. 光学精密工程, 1987,(6): 1-8

Zhang Qingying, Liu Guiqin. The Influences of Aluminum Film Thickness on the Blazed Efficiencies of Ruling Diffraction Gratings[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1987,(6): 1-8
张庆英, 刘桂琴. 铝膜厚度对刻划衍射光栅闪耀效率的影响[J]. 光学精密工程, 1987,(6): 1-8 DOI：

Zhang Qingying, Liu Guiqin. The Influences of Aluminum Film Thickness on the Blazed Efficiencies of Ruling Diffraction Gratings[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1987,(6): 1-8 DOI：

摘要

文章阐述了控制衍射光栅铝膜厚度的重要性。提出了用厚度系数标定铝膜厚度的方法。实验研究了铝膜厚度对衍射光栅闪耀效率的影响

给出了铝膜厚度系数的最佳范围。研究结果已用于生产。

Abstract

This paper describes the importance of controlling aluminum film thickness for ruling diffraction gratings and gives a method to mark the aluminum film thickness with thickness factor. It also represents the influences of aluminum film thickness on blazed efficiencies of the ruling diffraction gratings and provides proper ranges of the thickness factors. These results have been used in production.

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