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软X射线散射法检测超光滑表面粗糙度
论文 | 更新时间:2020-08-12
    • 软X射线散射法检测超光滑表面粗糙度

    • The Roughness Measurement for Supersmoothed Surface by Using Soft X-ray Scattering Method

    • 光学精密工程   1991年0卷第1期 页码:73-75
    • 网络出版日期:1991-02-15

      纸质出版日期:1991-02-15

    移动端阅览

  • 龚再仲, 马文军. 软X射线散射法检测超光滑表面粗糙度[J]. 光学精密工程, 1991,(1): 73-75 DOI:

    Gong Zaizhong, Ma Wenjun. The Roughness Measurement for Supersmoothed Surface by Using Soft X-ray Scattering Method[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1991,(1): 73-75 DOI:

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