软X光多层膜反射镜的研究

李先坤

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软X光多层膜反射镜的研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 软X光多层膜反射镜的研究
- Resarch of Soft X-ray Multilayer Mirror
- 光学精密工程 1991年0卷第2期页码：52-55
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- 网络出版日期：1991-04-15，
  
  纸质出版日期：1991-04-15
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李先坤. 软X光多层膜反射镜的研究[J]. 光学精密工程, 1991,(2): 52-55

Li Xiankun. Resarch of Soft X-ray Multilayer Mirror[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1991,(2): 52-55
李先坤. 软X光多层膜反射镜的研究[J]. 光学精密工程, 1991,(2): 52-55 DOI：

Li Xiankun. Resarch of Soft X-ray Multilayer Mirror[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1991,(2): 52-55 DOI：

摘要

本文介绍了软X光多层膜反射镜的发展过程和应用前景。讨论了软X光多层膜计算的衍射动力学理论和薄膜光学理论。设计了周期和非周期多层膜系。用磁控溅射制备了171Å21层周期和17层非周期Mo/Si结构反射镜。用电子束蒸发制备了256Å21层周期Mo/Si结构反射镜。对所制样品进行了X光小角衍射实验

俄歇电子能谱分析和反射率测试

并对实验结果进行了一些讨论。

Abstract

The paper describes the progress and the applied prospects of soft X-ray multilayer mirror.The period and nonperiod multilayer System are designed.In the wavelength 171Å 21 layersperiod and 17 layers nonperiod Mo/Si mirrors are fabricated by DC MCS technique.In the wavelength 256Å 21 layers period Mo/Si mirror is also fabricated by EBV technique.X-ray little angle diffraction experiment

AES analysis and reflectivity measurement are done to samples.Discussion of measurement results is given.

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