用ZYGO数字干涉仪检测非球面的新方法

王淑荣; 韩昌元

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用ZYGO数字干涉仪检测非球面的新方法

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 用ZYGO数字干涉仪检测非球面的新方法
- A New Method of Measuring Aspheric Surfaces Using ZYGO Interference System
- 光学精密工程 1992年0卷第1期页码：26-29
- 作者机构：
  
  应用光学国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 网络出版日期：1992-02-15，
  
  纸质出版日期：1992-02-15
- 稿件说明：
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王淑荣, 韩昌元. 用ZYGO数字干涉仪检测非球面的新方法[J]. 光学精密工程, 1992,(1): 26-29

Wang Shurong, Han Changyuan. A New Method of Measuring Aspheric Surfaces Using ZYGO Interference System[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1992,(1): 26-29
王淑荣, 韩昌元. 用ZYGO数字干涉仪检测非球面的新方法[J]. 光学精密工程, 1992,(1): 26-29 DOI：

Wang Shurong, Han Changyuan. A New Method of Measuring Aspheric Surfaces Using ZYGO Interference System[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1992,(1): 26-29 DOI：

摘要

提出了在ZYGO数字干涉仪上用计算机全息术检测非球面的新方法.这一方法利用了菲索干涉仪光路

并合理设计光学系统使非球面波完全自准返回

消除了非球面检验中的波面的变形传播引起的测量误差.同时

充分保留了ZYGO数字干涉仪本身具有的位相法干涉图处理机能.以抛物面为例加以对比、验证

证明了将数字干涉仪与计算机全息术巧妙地结合用于检测非球面是行之有效的方法.

Abstract

This paper represents a method of measuring aspheric surfaces with CGH

using ZYGO interference system.Testing a parabolic surface is used as an example in the paper.It proves that it is effe-ctive that ZYGO interferometer is used together with computer hol-ography for measuring of aspheric surfaces.

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