亚微米级微位移工作台及其微计算机数字闭环控制系统

高宏; 李庆祥; 严普强

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亚微米级微位移工作台及其微计算机数字闭环控制系统

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 亚微米级微位移工作台及其微计算机数字闭环控制系统
- Computer-Controlled Micropositioning Stage with Submicrometre Accuracy
- 光学精密工程 1988年0卷第6期页码：53-59
- 作者机构：
  
  清华大学精密仪器系
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 网络出版日期：1988-12-15，
  
  纸质出版日期：1988-12-15
- 稿件说明：
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高宏, 李庆祥, 严普强. 亚微米级微位移工作台及其微计算机数字闭环控制系统[J]. 光学精密工程, 1988,(6): 53-59

Gao Hong, Li Qingxiang, Yan Puqiang. Computer-Controlled Micropositioning Stage with Submicrometre Accuracy[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1988,(6): 53-59
高宏, 李庆祥, 严普强. 亚微米级微位移工作台及其微计算机数字闭环控制系统[J]. 光学精密工程, 1988,(6): 53-59 DOI：

Gao Hong, Li Qingxiang, Yan Puqiang. Computer-Controlled Micropositioning Stage with Submicrometre Accuracy[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1988,(6): 53-59 DOI：

摘要

本文介绍一种单尾

X-Y

强性微动工作台及其微计算机数字闭环控制系统

采用自适应

P-PID

选择控制算法

达到了±0.03μm的位置控制精度和优良的动态品质.

Abstract

A micropositioning flex stage and its computer closed-loop control system have been developed for microfabrication and micromeasurement. It is desinged that only a single table moves on an X-Y plane.The stage is driven by on electrostrictive positioner. Positioning of the stage is carried out with a closed-loop control system using a double frequency laser interferometer measurement device. A±0.03μm positioning accuracy

repeatability

and 64 ms move time for a±3μm step is achieved.

关键词

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