光学介质膜的直接光谱法分析--TiO2-Ta2O5混合膜中Ta,Ti元素含量比的测定

任兵; 郭永廉

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光学介质膜的直接光谱法分析--TiO₂-Ta₂O₅混合膜中Ta,Ti元素含量比的测定

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 光学介质膜的直接光谱法分析--TiO₂-Ta₂O₅混合膜中Ta,Ti元素含量比的测定
- Driect Analysis of Optical Medium Film by AES Determining Rate of Ta, Ti Content in TiO₂-Ta₂O₅ Mixing Film
- 光学精密工程 1989年0卷第1期页码：68-74
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(41301448)
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  中图分类号：
- 网络出版日期：1989-02-15，
  
  纸质出版日期：1989-02-15
- 稿件说明：
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任兵, 郭永廉. 光学介质膜的直接光谱法分析--TiO2-Ta2O5混合膜中Ta,Ti元素含量比的测定[J]. 光学精密工程, 1989,(1): 68-74

Ren Bing, Gou Yonglian . Driect Analysis of Optical Medium Film by AES Determining Rate of Ta, Ti Content in TiO2-Ta2O5 Mixing Film[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1989,(1): 68-74
任兵, 郭永廉. 光学介质膜的直接光谱法分析--TiO2-Ta2O5混合膜中Ta,Ti元素含量比的测定[J]. 光学精密工程, 1989,(1): 68-74 DOI：

Ren Bing, Gou Yonglian . Driect Analysis of Optical Medium Film by AES Determining Rate of Ta, Ti Content in TiO2-Ta2O5 Mixing Film[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1989,(1): 68-74 DOI：

摘要

本文介绍了采用原子发射光谱分析技术直接分析光学介质膜的新途径

建立了一套取样

激发和标样制备方法

测定了TiO

-Ta

混合膜中Ta

Ti元素的含量比。

Abstract

A method using usual instrument of AES to driectly analyse thin optical medium film has been presented. The main work to do this is to set up a series of methods of getting sample

exiting sample and making standard sample. An example for determining the rate of Ta. Ti content in the TiO

-Ta

mixing film has been given.

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