显微物镜像差测定及其像质评价

向才新; 刘钧

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显微物镜像差测定及其像质评价

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 显微物镜像差测定及其像质评价
- Aberration Test and Image Evaluation of Microscope Objective
- 光学精密工程 1989年0卷第3期页码：1-9
- 作者机构：
  
  西北光学仪器厂
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 网络出版日期：1989-06-15，
  
  纸质出版日期：1989-06-15
- 稿件说明：
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向才新, 刘钧. 显微物镜像差测定及其像质评价[J]. 光学精密工程, 1989,(3): 1-9

Xiang Caixin, Liu Jun. Aberration Test and Image Evaluation of Microscope Objective[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1989,(3): 1-9
向才新, 刘钧. 显微物镜像差测定及其像质评价[J]. 光学精密工程, 1989,(3): 1-9 DOI：

Xiang Caixin, Liu Jun. Aberration Test and Image Evaluation of Microscope Objective[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1989,(3): 1-9 DOI：

摘要

介绍了我们研制的多功能显微物镜波差测定仪的各种像差测定方法。测试了国内外显微物镜。平视场物镜的波面像差、轴上<λ/4～λ/8

视场边缘～λ/2;非平场的波面像差、轴上<λ/4

边缘视场～3λ。波面像差作为设计装配检测是-种合适的质量判据。作为像质判据

采用白光传递函数较为合适。

Abstract

This article describes the test method of various aberrations usirg mult-ifunction interferometer for microscope objective.We have measured various kinds of objectives made at home and abroad.The wave aberration on-axis is<λ/4

but the wave aberrations at the full view field are∽λ/2 and 3λ for plane and non-plane apochromatic objective respectively.Wave aberration is a good quality criterion availablet for optical design.White light OTF is a good image guality criterion for image evaluation.

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