真空紫外空阴极气体放电光源

陈波

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真空紫外空阴极气体放电光源

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 真空紫外空阴极气体放电光源
- VUV Hollow Cathode Gaseous Discharge Source
- 光学精密工程 1989年0卷第6期页码：10-16
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- 网络出版日期：1989-12-15，
  
  纸质出版日期：1989-12-15
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陈珏. 散热器的黑度的测量[J]. 光学精密工程, 1989,(6): 22-26

Chen Jue. The Blackness Mesurement of a Radiator[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1989,(6): 22-26
陈珏. 散热器的黑度的测量[J]. 光学精密工程, 1989,(6): 22-26 DOI：

Chen Jue. The Blackness Mesurement of a Radiator[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1989,(6): 22-26 DOI：

摘要

真空紫外空阴极光源是一种稳定的气体放电光源

工作气体为He、Ne、Ar、N

、H

、CO等

工作气压10torr～10

-2

torr

工作电流100mA～400mA

能在20～200nm波段产生丰富的原子和离子谱线

光谱辐射稳定性优于±1%。

Abstract

VUV Hollow Cathode Source is a stable gaseous discharge source.The operating characteristics of the source and it's spect- ral output with various gases

such as He

and CO

are presented.The discharge current varies between 100 mA and 400 mA and the operating pressure varies between 10 torr and 0.01 torr. The source can product rich atomic and ionic lines between 20 nm and 200 nm. The stability of spectral radiation is better than ?1%/1hour.

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