10.6μm薄膜90°位相延迟片椭偏参数侧量方法的研究

戈兵

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10.6μm薄膜90°位相延迟片椭偏参数侧量方法的研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 10.6μm薄膜90°位相延迟片椭偏参数侧量方法的研究
- A Study on the Measurement Method for Elliptical Polarization Parameters of 90°Thin Film Phase Retarder at 10.6μm
- 光学精密工程 1991年0卷第2期页码：56-59
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- 网络出版日期：1991-04-15，
  
  纸质出版日期：1991-04-15
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戈兵. 10.6μm薄膜90°位相延迟片椭偏参数侧量方法的研究[J]. 光学精密工程, 1991,(2): 56-59

Ge Bing. A Study on the Measurement Method for Elliptical Polarization Parameters of 90°Thin Film Phase Retarder at 10.6μm[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1991,(2): 56-59
戈兵. 10.6μm薄膜90°位相延迟片椭偏参数侧量方法的研究[J]. 光学精密工程, 1991,(2): 56-59 DOI：

Ge Bing. A Study on the Measurement Method for Elliptical Polarization Parameters of 90°Thin Film Phase Retarder at 10.6μm[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1991,(2): 56-59 DOI：

摘要

本文在旋转检偏器式椭偏仪原理的基础上

通过分析影响椭偏参数Ψ、Δ测量精度的主要因素

提出改进的测量方法

从理论上给出提高Ψ、Δ测量精度的途径

并得出了一些有价值的结论。

Abstract

On the basic principle of rotating-analyzer ellipsometer

an improved measuring method is presented in this paper by analyzing the main facts which affect the measurement accuracy of elliptic polarization parameters Ψ and Δ.The method to increase the measurement accuracy of Ψ and Δ are given in theory

and some valable conclusions are given.

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