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极紫外BRV光源的研究
论文 | 更新时间:2020-08-12
    • 极紫外BRV光源的研究

    • Investigation on Extreme Ultraviolet BRV Discharge Source

    • 光学精密工程   1991年0卷第2期 页码:6-11
    • 网络出版日期:1991-04-15

      纸质出版日期:1991-04-15

    移动端阅览

  • 郭玉彬. 极紫外BRV光源的研究[J]. 光学精密工程, 1991,(2): 6-11 DOI:

    Guo Yubin. Investigation on Extreme Ultraviolet BRV Discharge Source[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1991,(2): 6-11 DOI:

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