离化团束淀积光学薄膜实验装置的研制和性能实验

林开华; 郑宣明; 曹甲策

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离化团束淀积光学薄膜实验装置的研制和性能实验

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 离化团束淀积光学薄膜实验装置的研制和性能实验
- Investigation of Ionized-cluster Beam Deposition Apparatus and Experiments
- 光学精密工程 1991年0卷第4期页码：19-26
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- 网络出版日期：1991-08-15，
  
  纸质出版日期：1991-08-15
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林开华, 郑宣明, 曹甲策. 离化团束淀积光学薄膜实验装置的研制和性能实验[J]. 光学精密工程, 1991,(4): 19-26

Lin Kaihua, Zheng Xuanmin, Cao Jiace. Investigation of Ionized-cluster Beam Deposition Apparatus and Experiments[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1991,(4): 19-26
林开华, 郑宣明, 曹甲策. 离化团束淀积光学薄膜实验装置的研制和性能实验[J]. 光学精密工程, 1991,(4): 19-26 DOI：

Lin Kaihua, Zheng Xuanmin, Cao Jiace. Investigation of Ionized-cluster Beam Deposition Apparatus and Experiments[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1991,(4): 19-26 DOI：

摘要

研制了离化团束淀积装置。目前的实验结果

使用离化团束淀积技术在玻璃冷基底上镀制的ZnS膜MgF

膜的机械牢固性较电子束在同样条件下制备的ZnS膜和MgF

膜较强。用反应性离化团束技术制备的ZnO膜具有优良的取向结构。通过控制参数可以控制ZnO膜的结晶结构。

Abstract

The ionized-cluster beam (ICB) deposition apparatus has been developed and some optical coatings deposited by ICB are investigated. The scratch test shows that the ZnS film and MgF

film diposited at the cold substrates by ICB are nearly thousand times and hundreds times

respectively

as hard as that diposited by electronics at the same conditions

and possess excellent orientation characteristics.

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