用离子束溅射法制备X射线多层膜的实验和工艺

马月英

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用离子束溅射法制备X射线多层膜的实验和工艺

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 用离子束溅射法制备X射线多层膜的实验和工艺
- Soft X-ray Multilayers Fabricated by Ion-beam Sputtering
- 光学精密工程 1991年0卷第6期页码：85-90
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- 网络出版日期：1991-12-15，
  
  纸质出版日期：1991-12-15
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马月英. 用离子束溅射法制备X射线多层膜的实验和工艺[J]. 光学精密工程, 1991,(6): 85-90

Ma Yueying. Soft X-ray Multilayers Fabricated by Ion-beam Sputtering[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1991,(6): 85-90
马月英. 用离子束溅射法制备X射线多层膜的实验和工艺[J]. 光学精密工程, 1991,(6): 85-90 DOI：

Ma Yueying. Soft X-ray Multilayers Fabricated by Ion-beam Sputtering[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1991,(6): 85-90 DOI：

摘要

叙述了用离子束溅射镀膜机进行X射线波段多层膜镀膜实验及制备X射线多层膜光学元件方面的工作

简述离子束溅射镀膜机的工作原理

X射线多层膜的制备过程

主要工艺参数及注意事项

以及用X射线小角衍射仪对制备样品进行检测的部分结果。

Abstract

This paper introduces the research work on the experiment and fabrication of soft X-ray multilayers which were fabricated by the ion-beam sputtering coating machine developed in this institute

also describes the operating principle of the ion-beam coating machine

the main technology parameter and so on.Finally the measurement results of some samples tested by small angle X-ray diffractometer was presented.

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