制备特定膜系的真空镀膜平面挡板设计

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制备特定膜系的真空镀膜平面挡板设计

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 制备特定膜系的真空镀膜平面挡板设计
- The Design of Static Plane Shdtters for Special Optical Coating
- 光学精密工程 1992年0卷第5期页码：17-21
- 作者机构：
- 作者简介：
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  中图分类号：
- 网络出版日期：1992-10-15，
  
  纸质出版日期：1992-10-15
- 稿件说明：
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金南善, 李春. 制备特定膜系的真空镀膜平面挡板设计[J]. 光学精密工程, 1992,(5): 17-21

Jin Nanshan, Li Chun. The Design of Static Plane Shdtters for Special Optical Coating[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1992,(5): 17-21
金南善, 李春. 制备特定膜系的真空镀膜平面挡板设计[J]. 光学精密工程, 1992,(5): 17-21 DOI：

Jin Nanshan, Li Chun. The Design of Static Plane Shdtters for Special Optical Coating[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1992,(5): 17-21 DOI：

用静止平面挡板遮挡蒸气流以改变基底膜厚分布的方法在真空镀膜中经常使用.本文从文献中的膜厚分布的基本公式出发

分析研究了有关技术途径

并提出了适用于各类光学薄膜制备的平面静止挡板的设计.

From the basic expressions of distribution of film thickness on the substrate

we analyze the correlative techniques

and present designs of static plane shatters in order to obtain desired film thickness distribution in fabrication of optical coatings.

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