激光干涉测长系统中导轨——床身系统的二维动刚度实验研究

刘继发; 陆林海; 程维明; 陈明仪

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激光干涉测长系统中导轨——床身系统的二维动刚度实验研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 激光干涉测长系统中导轨——床身系统的二维动刚度实验研究
- Experimental Study on the Dynamic Stiffness Feature of a Slideway-Bed of an Interferometric Length Measurement System
- 光学精密工程 1993年1卷第1期页码：82-86
- 作者机构：
  
  上海科学技术大学上海,201800
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1992-11-05，
  
  修回日期：1993-01-17，
  
  网络出版日期：1993-02-15，
  
  纸质出版日期：1993-02-15
- 稿件说明：
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刘继发, 陆林海, 程维明, 陈明仪. 激光干涉测长系统中导轨——床身系统的二维动刚度实验研究[J]. 光学精密工程, 1993,(1): 82-86

Liu Jifa, Lu Linhai, Cheng Weiming, Chen Mingyi. Experimental Study on the Dynamic Stiffness Feature of a Slideway-Bed of an Interferometric Length Measurement System[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1993,(1): 82-86
刘继发, 陆林海, 程维明, 陈明仪. 激光干涉测长系统中导轨——床身系统的二维动刚度实验研究[J]. 光学精密工程, 1993,(1): 82-86 DOI：

Liu Jifa, Lu Linhai, Cheng Weiming, Chen Mingyi. Experimental Study on the Dynamic Stiffness Feature of a Slideway-Bed of an Interferometric Length Measurement System[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1993,(1): 82-86 DOI：

摘要

实践表明

激光干涉测长系统中的导轨—床身系统的动刚度对其测量精度有重大影响

但由于缺乏可靠、高精度的测量方法而往往未能在设计中

或使用中

予以避免或补偿。本文提出了一种采用双路激光干涉仪测试方法

成功地测量了三层结构的导轨—床身系统的二维动刚度。文中介绍了它的原理及装置

并对最终的测量结果进行了讨论。

Abstract

As well known

the dynamic stiffness of the slideway-bed of a laser interferometric length measurement system will effect on its measurement accuracy severely. However so far

it is not easy to estimate the degree of its effects in advance

or to give certain conpensation just due to the lack of some proper methods to test. In this paper

we introdued a simple but very effective method of using two laser interferometers by which we tested the 2-D dynamic stiffness of the three-layer type of slideway-bed of a laser interferometric length measurement system. The principle of that method and the experimental arrangements are described

and the results and comments are discussed.

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