使用对称闪耀光栅的光学四倍频微位移传感器

刘春光

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使用对称闪耀光栅的光学四倍频微位移传感器

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 使用对称闪耀光栅的光学四倍频微位移传感器
- Fourfold Frequency Optic Sensor with a Symmetrical Blazed Grating for Micro-displacement
- 光学精密工程 1992年0卷第2期页码：45-48
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  中图分类号：
- 网络出版日期：1992-04-15，
  
  纸质出版日期：1992-04-15
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刘春光. 使用对称闪耀光栅的光学四倍频微位移传感器[J]. 光学精密工程, 1992,(2): 45-48

Liu Chunguang. Fourfold Frequency Optic Sensor with a Symmetrical Blazed Grating for Micro-displacement[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1992,(2): 45-48
刘春光. 使用对称闪耀光栅的光学四倍频微位移传感器[J]. 光学精密工程, 1992,(2): 45-48 DOI：

Liu Chunguang. Fourfold Frequency Optic Sensor with a Symmetrical Blazed Grating for Micro-displacement[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1992,(2): 45-48 DOI：

摘要

介绍了使用对称闪耀光栅的光学四倍频微位移传感器的原理、结构和其实验研究的结果。

Abstract

In this paper

the theory and structure of fourfold frequency optic sensor with a symmetrical blazed grating for micro-displacement are introduced.The exprimental results are given.

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使用对称闪耀光栅的光学四倍频微位移传感器

Fourfold Frequency Optic Sensor with a Symmetrical Blazed Grating for Micro-displacement

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