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X射线—极紫外光学中的超精密加工及其应用
论文 | 更新时间：2020-08-12

    • X射线—极紫外光学中的超精密加工及其应用

    • Ultra-precision Machining and It's Application for X-Ray/EUV Optics

    • 光学精密工程   1993年1卷第1期 页码：7-12

    • 收稿日期：1993-01-18，

      网络出版日期：1993-02-15，

      纸质出版日期：1993-02-15

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  • 难波义治. X射线—极紫外光学中的超精密加工及其应用[J]. 光学精密工程, 1993,(1): 7-12 DOI：

    Yoshiharu Namba. Ultra-precision Machining and It's Application for X-Ray/EUV Optics[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1993,(1): 7-12 DOI：

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